VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் செதில் கையாளுதல் மற்றும் செயலாக்கத்திற்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான-பொறியியல் கருவியாகும். இந்த SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்பெப்டர் மெல்லிய படலங்கள், எபிலேயர்கள் மற்றும் பிற பூச்சுகளின் வளர்ச்சியை ஊக்குவிப்பதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, மேலும் வெப்பநிலை மற்றும் பொருள் பண்புகளை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்த முடியும். உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.
CVD SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர் என்பது ஒரு வகைMOCVD LED எபி சஸ்செப்டர், இது CVD அணுஉலையில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. ஒரு எபி சஸ்செப்டராக, இது ஒரு வெப்ப ஆதாரமாக மட்டுமல்லாமல், படிவு செயல்பாட்டின் போது அடி மூலக்கூறுக்கான நிலையான ஆதரவு தளத்தையும் வழங்குகிறது.SiC பூச்சுஉயர் வெப்பநிலை சூழல்களில் கிராஃபைட் சஸ்செப்டரின் ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் மாசுபாட்டை திறம்பட குறைக்க முடியும், இதன் மூலம் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருளின் உயர் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.
அடிப்படைCVD SiC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்:
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி
3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு
2~10μm
இரசாயன தூய்மை
99.99995%
வெப்ப திறன்
640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
2700℃
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்
430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)
4.5×10-6K-1
CVD SiC பூச்சு Epitaxy Susceptor தயாரிப்பு நன்மைகள்:
● துல்லியமான வைப்பு: CVD SiC பூச்சு எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டர் மூலம், உயர்தர மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய முடிவுகளைப் பெற, மெல்லிய படலங்கள் மற்றும் பூச்சுகளின் துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட படிவை நீங்கள் அடையலாம்.
● குறைக்கப்பட்ட மாசுபாடு: SiC பூச்சு மாசுபடுவதற்கான அபாயத்தைக் குறைக்கிறதுஎபி சுசெப்டர்கிராஃபைட் அடிப்படையிலானது, டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பொருளின் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது.
● ஆயுள்: SiC பூச்சு கிராஃபைட் எபிடாக்ஸி சஸ்செப்டரின் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது, இது நீண்ட சேவை வாழ்க்கை மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மையை அளிக்கிறது.
VeTek செமிகண்டக்டர் உயர்தர தயாரிப்புகள் மற்றும் போட்டி விலைகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது. அது இருந்தாலும் சரிEPI ரிசீவர் என்றால்அல்லது உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் EPI சஸ்பெப்டர், உங்கள் தேவைகளை நாங்கள் பூர்த்தி செய்ய முடியும். சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க நாங்கள் காத்திருக்கிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர்CVD SiC பூச்சு Epitaxy Susceptor தயாரிப்பு கடைகள்: