EPI ரிசீவர் என்றால்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி SiC மற்றும் TaC பூச்சு திறன்களை இணைக்கும் ஒரு தொழிற்சாலை ஆகும். பீப்பாய் வகை Si Epi Susceptor வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டல கட்டுப்பாட்டு திறன்களை வழங்குகிறது, குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைப்பு உறவை அமைக்க காத்திருக்கிறது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

பின்வருபவை உயர்தர Si Epi Susceptor இன் அறிமுகமாகும், பீப்பாய் வகை Si Epi Susceptor ஐ நீங்கள் நன்கு புரிந்துகொள்ள உதவும் நம்பிக்கையில் உள்ளது. சிறந்த எதிர்காலத்தை உருவாக்க எங்களுடன் தொடர்ந்து ஒத்துழைக்க புதிய மற்றும் பழைய வாடிக்கையாளர்களை வரவேற்கிறோம்!

எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தியில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் ஒரு சிறப்பு சாதனமாகும். பீப்பாய் வகை Si Epi Susceptor வெப்பநிலை, வளிமண்டலம் மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் புதிய படிக அடுக்குகளை வைப்பதற்கு மற்ற முக்கிய அளவுருக்கள் ஆகியவற்றைக் கட்டுப்படுத்தும் சூழலை வழங்குகிறது.

பீப்பாய் வகை Si Epi Susceptor இன் முக்கிய நன்மை பல சில்லுகளை ஒரே நேரத்தில் செயலாக்கும் திறன் ஆகும், இது உற்பத்தி திறனை அதிகரிக்கிறது. இது பொதுவாக பல செதில்களை வைத்திருப்பதற்கு பல மவுண்ட்கள் அல்லது கிளாம்ப்களைக் கொண்டுள்ளது, இதனால் ஒரே வளர்ச்சி சுழற்சியில் ஒரே நேரத்தில் பல செதில்களை வளர்க்க முடியும். இந்த உயர் செயல்திறன் அம்சம் உற்பத்தி சுழற்சிகள் மற்றும் செலவுகளை குறைக்கிறது மற்றும் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துகிறது.

கூடுதலாக, பேரல் வகை Si Epi Susceptor உகந்த வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது. இது ஒரு மேம்பட்ட வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, இது தேவையான வளர்ச்சி வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தவும் பராமரிக்கவும் முடியும். அதே நேரத்தில், இது நல்ல வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது, ஒவ்வொரு சிப்பும் ஒரே வளிமண்டல நிலைமைகளின் கீழ் வளர்க்கப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. இது சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை அடைய உதவுகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

பீப்பாய் வகை Si Epi Susceptor இல், சிப் பொதுவாக காற்று ஓட்டம் அல்லது திரவ ஓட்டம் மூலம் சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் மற்றும் வெப்ப பரிமாற்றத்தை அடைகிறது. இந்த சீரான வெப்பநிலை விநியோகம் சூடான புள்ளிகள் மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வுகளை உருவாக்குவதைத் தவிர்க்க உதவுகிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

மற்றொரு நன்மை என்னவென்றால், பேரல் வகை Si Epi Susceptor நெகிழ்வுத்தன்மை மற்றும் அளவிடுதல் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. வெவ்வேறு எபிடாக்சியல் பொருட்கள், சிப் அளவுகள் மற்றும் வளர்ச்சி அளவுருக்களுக்கு இது சரிசெய்யப்பட்டு உகந்ததாக இருக்கும். இது பல்வேறு பயன்பாடுகள் மற்றும் தேவைகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய விரைவான செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் தேர்வுமுறையை மேற்கொள்ள ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் பொறியாளர்களுக்கு உதவுகிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1