CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ் வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டர் பல ஆண்டுகளாக தொழில்நுட்ப வளர்ச்சியை அனுபவித்துள்ளது மற்றும் CVD TaC பூச்சுகளின் முன்னணி செயல்முறை தொழில்நுட்பத்தில் தேர்ச்சி பெற்றுள்ளது. CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று-இதழ் வழிகாட்டி வளையம் VeTek செமிகண்டக்டரின் மிகவும் முதிர்ந்த CVD TaC பூச்சு தயாரிப்புகளில் ஒன்றாகும், மேலும் இது PVT முறையில் SiC படிகங்களை தயாரிப்பதற்கான ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். VeTek செமிகண்டக்டரின் உதவியுடன், உங்கள் SiC படிக உற்பத்தி மென்மையாகவும் திறமையாகவும் இருக்கும் என்று நான் நம்புகிறேன்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

சிலிக்கான் கார்பைடு சிங்கிள் கிரிஸ்டல் சப்ஸ்ட்ரேட் மெட்டீரியல் என்பது ஒரு வகையான படிகப் பொருளாகும், இது பரந்த பேண்ட்கேப் செமிகண்டக்டர் பொருளுக்கு சொந்தமானது. இது உயர் மின்னழுத்த எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அதிக அதிர்வெண், குறைந்த இழப்பு போன்றவற்றின் நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. இது அதிக சக்தி கொண்ட மின்னணு சாதனங்கள் மற்றும் மைக்ரோவேவ் ரேடியோ அலைவரிசை சாதனங்களைத் தயாரிப்பதற்கான அடிப்படைப் பொருளாகும். தற்போது, SiC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான முக்கிய முறைகள் உடல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT முறை), அதிக வெப்பநிலை இரசாயன நீராவி படிவு (HTCVD முறை), திரவ கட்ட முறை போன்றவை.

Working diagram of CVD TaC coated three-petal guide ring

PVT முறையானது ஒப்பீட்டளவில் முதிர்ந்த முறையாகும், இது தொழில்துறை வெகுஜன உற்பத்திக்கு மிகவும் பொருத்தமானது. SiC விதை படிகத்தை பிறையின் மேல் வைப்பதன் மூலமும், SiC பொடியை மூலப்பொருளாக பிறையின் அடிப்பகுதியில் வைப்பதன் மூலமும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் குறைந்த அழுத்தத்தின் மூடிய சூழலில், SiC தூள் பதங்கமடைந்து அருகில் மேல்நோக்கி மாற்றப்படுகிறது. வெப்பநிலை சாய்வு மற்றும் செறிவு வேறுபாட்டின் செயல்பாட்டின் கீழ் விதை படிகத்தின், மற்றும் சூப்பர்சாச்சுரேட்டட் நிலையை அடைந்த பிறகு மறுபடிகமாக்குகிறது, கட்டுப்படுத்தக்கூடிய வளர்ச்சி SiC படிக அளவு மற்றும் குறிப்பிட்ட படிக வகையை அடையலாம்.

CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று-இதழ் வழிகாட்டி வளையத்தின் முக்கிய செயல்பாடு திரவ இயக்கவியலை மேம்படுத்துதல், வாயு ஓட்டத்தை வழிநடத்துதல் மற்றும் படிக வளர்ச்சி பகுதிக்கு சீரான வளிமண்டலத்தைப் பெற உதவுதல் ஆகும். இது SiC படிகங்களின் வளர்ச்சியின் போது வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்கிறது மற்றும் வெப்பநிலை சாய்வை பராமரிக்கிறது, இதன் மூலம் SiC படிகங்களின் வளர்ச்சி நிலைகளை மேம்படுத்துகிறது மற்றும் சீரற்ற வெப்பநிலை விநியோகத்தால் ஏற்படும் படிக குறைபாடுகளை தவிர்க்கிறது.

CVD TaC பூச்சுகளின் சிறந்த செயல்திறன்

● அதி உயர் தூய்மை: அசுத்தங்கள் மற்றும் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்கிறது.

● உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: 2500°C க்கு மேல் உள்ள உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை, அதி-உயர் வெப்பநிலை செயல்பாட்டை செயல்படுத்துகிறது.

● இரசாயன சூழல் சகிப்புத்தன்மை: H(2), NH(3), SiH(4) மற்றும் Si க்கு சகிப்புத்தன்மை, கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் பாதுகாப்பை வழங்குகிறது.

● சிந்தாமல் நீண்ட ஆயுள்: கிராஃபைட் உடலுடன் வலுவான பிணைப்பு உள் பூச்சு உதிர்தல் இல்லாமல் நீண்ட வாழ்க்கை சுழற்சியை உறுதிசெய்யும்.

● வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு: வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு இயக்க சுழற்சியை வேகப்படுத்துகிறது.

●கடுமையான பரிமாண சகிப்புத்தன்மை: பூச்சு கவரேஜ் கடுமையான பரிமாண சகிப்புத்தன்மையை பூர்த்தி செய்வதை உறுதி செய்கிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை மற்றும் முதிர்ந்த தொழில்நுட்ப ஆதரவு குழு மற்றும் விற்பனைக் குழுவைக் கொண்டுள்ளது, அது உங்களுக்காக மிகவும் பொருத்தமான தயாரிப்புகள் மற்றும் தீர்வுகளை வடிவமைக்க முடியும். முன் விற்பனையிலிருந்து விற்பனைக்குப் பிந்தைய விற்பனை வரை, VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு மிகவும் முழுமையான மற்றும் விரிவான சேவைகளை வழங்குவதில் எப்போதும் உறுதியாக உள்ளது.

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
TaC பூச்சு அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3 10^-6/கே
TaC பூச்சு கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10^-5ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)
வெப்ப கடத்துத்திறன்	9-22(W/m·K)

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ் வழிகாட்டி வளைய தயாரிப்பு கடைகள்

SiC Graphite substrate CVD TaC coated three-petal guide ring test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: CVD TaC பூசப்பட்ட மூன்று இதழ் வழிகாட்டி வளையம், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை