SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV LED சசெப்டர்

SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV எல்இடி சசெப்டர் MOCVD செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டது, இது திறமையான மற்றும் நிலையான ஆழமான UV LED எபிடாக்சியல் லேயர் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV LED சஸ்பெக்டரின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். எங்களிடம் வளமான அனுபவம் உள்ளது மற்றும் பல எல்இடி எபிடாக்சியல் உற்பத்தியாளர்களுடன் நீண்ட கால கூட்டுறவு உறவுகளை நிறுவியுள்ளோம். பல வருட சரிபார்ப்புக்குப் பிறகு, எங்கள் தயாரிப்பு ஆயுட்காலம் சிறந்த சர்வதேச உற்பத்தியாளர்களுக்கு இணையாக உள்ளது. உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV எல்இடி சஸ்செப்டர் முக்கிய தாங்கி கூறு ஆகும்MOCVD (உலோக கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) உபகரணங்கள். ஆழமான UV LED எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் சீரான தன்மை, தடிமன் கட்டுப்பாடு மற்றும் பொருள் தரத்தை சஸ்பெக்டர் நேரடியாக பாதிக்கிறது, குறிப்பாக அதிக அலுமினியம் உள்ளடக்கம் கொண்ட அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) எபிடாக்சியல் லேயரின் வளர்ச்சியில், சசெப்டரின் வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்திறன் முக்கியமானது.

SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV எல்இடி சஸ்செப்டர் ஆழமான UV LED எபிடாக்ஸிக்காக சிறப்பாக உகந்ததாக உள்ளது, மேலும் கடுமையான செயல்முறை தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய வெப்ப, இயந்திர மற்றும் இரசாயன சுற்றுச்சூழல் பண்புகளின் அடிப்படையில் துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது.

VeTek செமிகண்டக்டர், வெப்பநிலை சாய்வு காரணமாக ஏற்படும் எபிடாக்சியல் லேயரின் சீரான வளர்ச்சியைத் தவிர்த்து, இயக்க வெப்பநிலை வரம்பிற்குள் சசெப்டரின் சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதிசெய்ய மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. துல்லியமான செயலாக்கம் மேற்பரப்பு கடினத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துகிறது, துகள் மாசுபாட்டைக் குறைக்கிறது மற்றும் செதில் மேற்பரப்பு தொடர்பின் வெப்ப கடத்துத்திறன் செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் SGL கிராஃபைட்டைப் பொருளாகப் பயன்படுத்துகிறது, மேலும் மேற்பரப்பு சிகிச்சை செய்யப்படுகிறதுCVD SiC பூச்சு, இது NH3, HCl மற்றும் அதிக வெப்பநிலை வளிமண்டலத்தை நீண்ட நேரம் தாங்கும். VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV LED சஸ்செப்டர் AlN/GaN எபிடாக்சியல் செதில்களின் வெப்ப விரிவாக்க குணகத்துடன் பொருந்துகிறது, செயல்பாட்டின் போது வெப்ப அழுத்தத்தால் ஏற்படும் செதில் சிதைவு அல்லது விரிசலைக் குறைக்கிறது.

மிக முக்கியமாக, VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV எல்இடி சஸ்செப்டர் பிரதான MOCVD உபகரணங்களுக்கு (Veeco K465i, EPIK 700, Aixtron Crius, முதலியன உட்பட) கச்சிதமாக மாற்றியமைக்கிறது. செதில் அளவு (2~8 அங்குலம்), வேஃபர் ஸ்லாட் வடிவமைப்பு, செயல்முறை வெப்பநிலை மற்றும் பிற தேவைகளுக்கான தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகளை ஆதரிக்கிறது.

பயன்பாட்டின் காட்சிகள்:

● ஆழமான UV LED தயாரிப்பு: 260 nm (UV-C கிருமி நீக்கம், ஸ்டெரிலைசேஷன் மற்றும் பிற துறைகள்) கீழே உள்ள பேண்டில் உள்ள சாதனங்களின் எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்கு பொருந்தும்.

● நைட்ரைடு குறைக்கடத்தி எபிடாக்ஸி: காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் அலுமினியம் நைட்ரைடு (AlN) போன்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் தயாரிப்புக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.

● ஆராய்ச்சி-நிலை எபிடாக்சியல் பரிசோதனைகள்: ஆழமான UV எபிடாக்ஸி மற்றும் பல்கலைக்கழகங்கள் மற்றும் ஆராய்ச்சி நிறுவனங்களில் புதிய பொருள் மேம்பாட்டு சோதனைகள்.

வலுவான தொழில்நுட்பக் குழுவின் ஆதரவுடன், VeTek செமிகண்டக்டர் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனித்துவமான விவரக்குறிப்புகள் மற்றும் செயல்பாடுகளுடன் சஸ்செப்டர்களை உருவாக்க முடியும், குறிப்பிட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளை ஆதரிக்கிறது மற்றும் நீண்ட கால சேவைகளை வழங்குகிறது.

CVD SIC கோட்டிங் படத்தின் SEM தரவு:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி	3.21 g/cm³
CVD SiC பூச்சு கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek செமிகண்டக்டர்SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV LED சஸ்பெக்டர் தயாரிப்பு கடைகள்:

SiC coated deep UV LED susceptor Semiconductor process equipment CVD SiC Focus Ring Oxidation and Diffusion Furnace Equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC பூசப்பட்ட ஆழமான UV LED சசெப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை