வீடு > தயாரிப்புகள் > சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு > MOCVD தொழில்நுட்பம் > SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்
தயாரிப்புகள்
SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்
  • SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர்

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட செதில் தட்டு ஆகும், இது சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு, உயர் தூய்மை மேற்பரப்பு மற்றும் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்த தனிப்பயனாக்கக்கூடிய விருப்பங்களை வழங்குகிறது. உங்கள் மேலதிக விசாரணையை வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்காக குறிப்பாக LPE உலைகளில் வடிவமைக்கப்பட்ட மேம்பட்ட தீர்வாகும். இந்த மிகவும் திறமையான செதில் தட்டு, குறைக்கடத்தி பொருட்களின் வளர்ச்சியை மேம்படுத்துவதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, உற்பத்திச் சூழல்களை கோருவதில் உயர்ந்த செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது. 


Veteksemiயின் Graphite Barrel Susceptor தயாரிப்புகள் பின்வரும் சிறப்பான நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளன


உயர்-வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்பு: உயர்-வெப்பநிலை பயன்பாடுகளின் கடுமையைத் தாங்கும் வகையில் தயாரிக்கப்பட்ட, SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்பெப்டர் வெப்ப அழுத்தம் மற்றும் இரசாயன அரிப்புக்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது. அதன் SiC பூச்சு கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறை ஆக்சிஜனேற்றம் மற்றும் கடுமையான செயலாக்க சூழல்களில் ஏற்படக்கூடிய பிற இரசாயன எதிர்வினைகளிலிருந்து பாதுகாக்கிறது. இந்த ஆயுட்காலம் தயாரிப்பின் ஆயுளை நீட்டிப்பது மட்டுமல்லாமல், மாற்றீடுகளின் அதிர்வெண்ணையும் குறைக்கிறது, குறைந்த செயல்பாட்டு செலவுகள் மற்றும் உற்பத்தித்திறனை அதிகரிக்க உதவுகிறது.


விதிவிலக்கான வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்பெப்டரின் தனித்துவமான அம்சங்களில் ஒன்று அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகும். உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை அடைவதற்கு அவசியமான, செதில் முழுவதும் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை இந்தப் பண்பு அனுமதிக்கிறது. திறமையான வெப்ப பரிமாற்றமானது வெப்ப சாய்வுகளை குறைக்கிறது, இது குறைக்கடத்தி கட்டமைப்புகளில் குறைபாடுகளுக்கு வழிவகுக்கும், இதன் மூலம் எபிடாக்ஸி செயல்முறையின் ஒட்டுமொத்த மகசூல் மற்றும் செயல்திறனை அதிகரிக்கிறது.


உயர்-தூய்மை மேற்பரப்பு: உயர்-புCVD SiC பூசப்பட்ட பீப்பாய் சஸ்செப்டரின் rity மேற்பரப்பு செயலாக்கப்படும் குறைக்கடத்தி பொருட்களின் ஒருமைப்பாட்டைப் பராமரிக்க முக்கியமானது. அசுத்தங்கள் குறைக்கடத்திகளின் மின் பண்புகளை எதிர்மறையாக பாதிக்கலாம், வெற்றிகரமான எபிடாக்ஸியில் அடி மூலக்கூறின் தூய்மை ஒரு முக்கிய காரணியாக அமைகிறது. அதன் சுத்திகரிக்கப்பட்ட உற்பத்தி செயல்முறைகளுடன், SiC பூசப்பட்ட மேற்பரப்பு குறைந்தபட்ச மாசுபாட்டை உறுதிசெய்கிறது, சிறந்த தரமான படிக வளர்ச்சி மற்றும் ஒட்டுமொத்த சாதன செயல்திறனை ஊக்குவிக்கிறது.


செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்பாட்டில் உள்ள பயன்பாடுகள்

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor Working Schematic


SiC கோடட் கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டரின் முதன்மை பயன்பாடு LPE உலைகளுக்குள் உள்ளது, அங்கு உயர்தர குறைக்கடத்தி அடுக்குகளின் வளர்ச்சியில் இது முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. உகந்த வெப்ப விநியோகத்தை எளிதாக்கும் அதே வேளையில் தீவிர நிலைமைகளின் கீழ் நிலைத்தன்மையை பராமரிக்கும் அதன் திறன், மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி சாதனங்களில் கவனம் செலுத்தும் உற்பத்தியாளர்களுக்கு இன்றியமையாத அங்கமாக அமைகிறது. இந்த சஸ்செப்டரைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், உயர் தூய்மை செமிகண்டக்டர் பொருட்களின் உற்பத்தியில் மேம்பட்ட செயல்திறனை நிறுவனங்கள் எதிர்பார்க்கலாம், இது அதிநவீன தொழில்நுட்பங்களின் வளர்ச்சிக்கு வழி வகுக்கிறது.


VeTeksemi செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்குவதில் நீண்ட காலமாக உறுதியுடன் உள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC-கோடட் கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர்கள் குறிப்பிட்ட பயன்பாடுகள் மற்றும் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கப்பட்ட விருப்பங்களை வழங்குகின்றன. பரிமாணங்களை மாற்றுவது, குறிப்பிட்ட வெப்ப பண்புகளை மேம்படுத்துவது அல்லது சிறப்பு செயல்முறைகளுக்கான தனிப்பட்ட அம்சங்களைச் சேர்ப்பது என எதுவாக இருந்தாலும், வாடிக்கையாளர் தேவைகளை முழுமையாகப் பூர்த்தி செய்யும் தீர்வுகளை வழங்குவதற்கு VeTek செமிகண்டக்டர் உறுதிபூண்டுள்ளது. சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் உண்மையாக காத்திருக்கிறோம்.


CVD SIC கோட்டிங் ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்


CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து
வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு
FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
பூச்சு அடர்த்தி
3.21 g/cm³
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை
2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு
2~10μm
இரசாயன தூய்மை
99.99995%
வெப்ப திறன்
640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை
2700℃
நெகிழ்வு வலிமை
415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்
430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்
300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)
4.5×10-6K-1


VeTek செமிகண்டக்டர் SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பீப்பாய் சஸ்செப்டர் தயாரிப்பு கடைகள்


sic coated Graphite substrateSiC Coated Graphite Barrel Susceptor product testSilicon carbide ceramics processingSemiconductor process equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பேரல் சஸ்செப்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது
தொடர்புடைய வகை
விசாரணையை அனுப்பு
தயவுசெய்து உங்கள் விசாரணையை கீழே உள்ள படிவத்தில் கொடுக்க தயங்க வேண்டாம். நாங்கள் உங்களுக்கு 24 மணி நேரத்தில் பதிலளிப்போம்.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept