SiC பூச்சு சேகரிப்பான் கீழே

CVD SiC பூச்சு தயாரிப்பில் எங்கள் நிபுணத்துவத்துடன், VeTek செமிகண்டக்டர் பெருமையுடன் Aixtron SiC கோட்டிங் கலெக்டர் பாட்டம் வழங்குகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் கலெக்டர் பாட்டம் உயர் தூய்மை கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்தி கட்டப்பட்டுள்ளது மற்றும் CVD SiC உடன் பூசப்பட்டு, 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற தன்மையை உறுதி செய்கிறது. மேலும் தகவல் மற்றும் விசாரணைகளுக்கு எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது உயர்தர CVD TaC பூச்சு மற்றும் CVD SiC கோட்டிங் கலெக்டரை கீழே வழங்குவதற்கு உறுதிபூண்டுள்ளது மற்றும் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய Aixtron கருவிகளுடன் நெருக்கமாக வேலை செய்கிறது. செயல்முறை மேம்படுத்தல் அல்லது புதிய தயாரிப்பு மேம்பாடு என எதுவாக இருந்தாலும், உங்களுக்கு தொழில்நுட்ப ஆதரவை வழங்கவும், உங்களிடம் ஏதேனும் கேள்விகளுக்கு பதிலளிக்கவும் நாங்கள் தயாராக உள்ளோம்.

Aixtron SiC கோட்டிங் கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் மையம் மற்றும் SiC கோட்டிங் கலெக்டர் பாட்டம் தயாரிப்புகள். இந்த தயாரிப்புகள் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும்.

Aixtron கருவிகளில் Aixtron SiC பூசப்பட்ட கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் மையம் மற்றும் கலெக்டர் பாட்டம் ஆகியவற்றின் கலவை பின்வரும் முக்கிய பாத்திரங்களை வகிக்கிறது:

வெப்ப மேலாண்மை: இந்த கூறுகள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் வெப்பத்தை திறம்பட நடத்த முடியும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் வெப்ப மேலாண்மை முக்கியமானது. கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் மையம் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கலெக்டர் பாட்டம் ஆகியவற்றில் உள்ள SiC பூச்சுகள் வெப்பத்தை திறமையாக அகற்றவும், பொருத்தமான செயல்முறை வெப்பநிலையை பராமரிக்கவும் மற்றும் உபகரணங்களின் வெப்ப மேலாண்மையை மேம்படுத்தவும் உதவுகின்றன.

இரசாயன மந்தநிலை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு: Aixtron SiC பூசப்பட்ட கலெக்டர் மேல், கலெக்டர் மையம் மற்றும் SiC பூச்சு கலெக்டர் கீழே சிறந்த இரசாயன மந்தநிலை மற்றும் இரசாயன அரிப்பு மற்றும் ஆக்சிஜனேற்றம் எதிர்ப்பு. இது நீண்ட காலத்திற்கு கடுமையான இரசாயன சூழல்களில் நிலையானதாக செயல்பட உதவுகிறது, நம்பகமான பாதுகாப்பு அடுக்கை வழங்குகிறது மற்றும் கூறுகளின் சேவை வாழ்க்கையை நீட்டிக்கிறது.

எலக்ட்ரான் கற்றை (EB) ஆவியாதல் செயல்முறைக்கான ஆதரவு: எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாதல் செயல்முறையை ஆதரிக்க இந்த கூறுகள் Aixtron கருவிகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் மையம் மற்றும் SiC கோட்டிங் கலெக்டர் பாட்டம் ஆகியவற்றின் வடிவமைப்பு மற்றும் பொருள் தேர்வு ஆகியவை சீரான ஃபிலிம் டெபாசிஷனை அடைய உதவுவதோடு, படத்தின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிப்படுத்த ஒரு நிலையான அடி மூலக்கூறை வழங்குகின்றன.

திரைப்படம் வளரும் சூழலை மேம்படுத்துதல்: கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் மையம் மற்றும் SiC கோட்டிங் கலெக்டர் பாட்டம் ஆகியவை Aixtron உபகரணங்களில் திரைப்படம் வளரும் சூழலை மேம்படுத்துகின்றன. பூச்சுகளின் இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் வெப்ப கடத்துத்திறன் அசுத்தங்கள் மற்றும் குறைபாடுகளை குறைக்க உதவுகிறது மற்றும் படத்தின் படிக தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

Aixtron SiC பூசப்பட்ட கலெக்டர் டாப், கலெக்டர் மையம் மற்றும் SiC கோட்டிங் கலெக்டர் பாட்டம் ஆகியவற்றைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் வெப்ப மேலாண்மை மற்றும் இரசாயன பாதுகாப்பை அடையலாம், பட வளர்ச்சி சூழலை மேம்படுத்தலாம் மற்றும் படத்தின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம். Aixtron உபகரணங்களில் இந்த கூறுகளின் கலவையானது நிலையான செயல்முறை நிலைமைகள் மற்றும் திறமையான குறைக்கடத்தி உற்பத்தியை உறுதி செய்கிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

தொழில்துறை சங்கிலி:

உற்பத்தி கடை

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC பூச்சு சேகரிப்பான் பாட்டம், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை