SiC பூச்சு சேகரிப்பு மையம்

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC பூச்சு சேகரிப்பு மையம் செமிகண்டூகர் EPI செயல்முறையின் உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. எபிடாக்சியல் ரியாக்‌ஷன் சேம்பரில் எரிவாயு விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டிற்குப் பயன்படுத்தப்படும் முக்கிய கூறுகளில் இதுவும் ஒன்றாகும். எங்கள் தொழிற்சாலையில் SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சு பற்றி எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

SiC பூச்சு சேகரிப்பு மையத்தின் பங்கு பின்வருமாறு:

எரிவாயு விநியோகம்: SiC பூச்சு சேகரிப்பு மையம் பல்வேறு வாயுக்களை எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறைக்குள் அறிமுகப்படுத்த பயன்படுகிறது. குறிப்பிட்ட எபிடாக்சியல் வளர்ச்சித் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்காக பல்வேறு வாயுக்களை விரும்பிய இடங்களுக்கு விநியோகிக்கக்கூடிய பல நுழைவாயில்கள் மற்றும் விற்பனை நிலையங்களைக் கொண்டுள்ளது.

எரிவாயு கட்டுப்பாடு: SiC பூச்சு சேகரிப்பு மையம் வால்வுகள் மற்றும் ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டு சாதனங்கள் மூலம் ஒவ்வொரு வாயுவின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை அடைகிறது. படத்தின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதிசெய்து, விரும்பிய வாயு செறிவு மற்றும் ஓட்ட விகிதத்தை அடைவதற்கு எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் வெற்றிக்கு இந்த துல்லியமான வாயு கட்டுப்பாடு அவசியம்.

சீரான தன்மை: மத்திய வாயு சேகரிக்கும் வளையத்தின் வடிவமைப்பு மற்றும் அமைப்பு வாயுவின் சீரான விநியோகத்தை அடைய உதவுகிறது. நியாயமான வாயு ஓட்டப் பாதை மற்றும் விநியோக முறை மூலம், படத்தின் சீரான வளர்ச்சியை அடைய, வாயு எபிடாக்சியல் எதிர்வினை அறையில் சமமாக கலக்கப்படுகிறது.

எபிடாக்சியல் தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில், படத்தின் தரம், தடிமன் மற்றும் சீரான தன்மை ஆகியவற்றில் SiC கோட்டிங் சேகரிப்பு மையம் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. முறையான எரிவாயு விநியோகம் மற்றும் கட்டுப்பாட்டின் மூலம், உயர்தர எபிடாக்சியல் பிலிம்களைப் பெற, SiC பூச்சு சேகரிப்பு மையம் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் நிலைத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்ய முடியும்.

கிராஃபைட் சேகரிப்பான் மையத்துடன் ஒப்பிடும்போது, ​​SiC பூசப்பட்ட சேகரிப்பு மையம் மேம்படுத்தப்பட்ட வெப்ப கடத்துத்திறன், மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் உயர்ந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு. சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் பொருளின் வெப்ப மேலாண்மை திறனை கணிசமாக அதிகரிக்கிறது, இது சிறந்த வெப்பநிலை சீரான தன்மை மற்றும் எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் நிலையான பட வளர்ச்சிக்கு வழிவகுக்கிறது. கூடுதலாக, பூச்சு இரசாயன அரிப்பை எதிர்க்கும் ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்கை வழங்குகிறது, கிராஃபைட் கூறுகளின் ஆயுட்காலம் நீட்டிக்கப்படுகிறது. ஒட்டுமொத்தமாக, சிலிக்கான் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிராஃபைட் பொருள் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றை வழங்குகிறது, இது எபிடாக்சியல் செயல்முறைகளில் மேம்பட்ட நிலைத்தன்மை மற்றும் உயர்தர பட வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

தொழில்துறை சங்கிலி:

உற்பத்தி கடை