SiC பூச்சு எபி ரிசீவர்

Vetek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் SiC கோட்டிங் எபி சஸ்செப்டருக்கான தொழில்முறை உற்பத்தியாளர்.

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோட்டிங் எபி சஸ்செப்டர் கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடால் ஆனது. இந்த SiC பூச்சு தயாரிப்பு இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறது, இது மிகவும் நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை கொண்டது, மேலும் எங்கள் ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க வாடிக்கையாளர்களால் மிகவும் பாராட்டப்படுகிறது. அதே நேரத்தில், SiC கோட்டிங் எபி சஸ்செப்டரின் செறிவு 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, மேலும் சீரான தன்மை மிகவும் நன்றாக உள்ளது. தொடர்ச்சியான தொழில்நுட்ப மேம்பாடுகளுக்குப் பிறகு, VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு புதிய செயல்முறையைப் பயன்படுத்தி SiC பூச்சு மற்றும் கிராஃபைட் பொருட்களின் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்திற்கு இடையே ஒரு நல்ல பொருத்தத்தை உருவாக்குகிறது.

SiC பூச்சு எபி சஸ்செப்டர் செமிகண்டக்டர் கருவிகளில் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் சிறப்பாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. SiC கோட்டிங் எபி சஸ்செப்டர் பொதுவாக AIXTRON போன்ற உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக ஆழமான புற ஊதா எபிடாக்ஸி (DUV எபிடாக்ஸி) செயல்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.

ஆழமான புற ஊதா எபிடாக்ஸி (DUV Epitaxy) செயல்பாட்டில், SiC பூச்சு Epi Susceptor இன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன் இணைந்து, SiC பூச்சு Epi Susceptor பொதுவாக AIXTRON கருவியில் எதிர்வினை அறையைச் சுற்றி எபிடாக்ஸி செயல்முறையின் போது ஒரு கேரியராக நிறுவப்படுகிறது. உபகரணங்களை சேதப்படுத்துதல் அல்லது மாசுபடுத்துதல்.

இந்த SiC பூச்சு எபி சசெப்டர் ஆழமான புற ஊதா எபிடாக்ஸிக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளுக்கு இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கக் குணகங்களின் வேறுபாடுகளால் ஏற்படும் சிக்கல்களைக் குறைக்க, சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சுகளை நாங்கள் கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தி, இடையகத் தொழில்நுட்பத்தை இணைத்து, தயாரிப்பின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறோம். தற்போது, ​​எங்கள் தயாரிப்பு பல பாராட்டுக்களைப் பெற்றுள்ளது மற்றும் உள்நாட்டு சந்தையில் சிறந்த ஒன்றாக அங்கீகரிக்கப்பட்டுள்ளது.

SiC பூச்சு தயாரிப்புகளில் ஒரு தொழில்துறை தலைவராக, VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகள் மற்றும் திருப்திகரமான தயாரிப்பு விலைகளை ஆதரிக்கிறது, மேலும் உங்களின் மேலான ஆலோசனையை எதிர்பார்க்கிறது.

CVD SIC திரைப்படத்தின் SEM தரவு:

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோட்டிங் ஸ்கர்ட் பொருட்கள் கடைகள்:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: