SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர்

VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC கோட்டிங் கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டரை உருவாக்குகிறது, இது MOCVD செயல்முறையின் முக்கிய அங்கமாகும். உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் அடிப்படையில், மேற்பரப்பு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை வழங்க உயர்-தூய்மை SiC பூச்சுடன் பூசப்பட்டுள்ளது. உயர் தரம் மற்றும் மிகவும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட தயாரிப்பு சேவைகளுடன், VeTeK செமிகண்டக்டரின் SiC கோட்டிங் கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் MOCVD செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் மெல்லிய பட படிவு தரத்தை உறுதி செய்வதற்கான சிறந்த தேர்வாகும். VeTeK செமிகண்டக்டர் உங்கள் கூட்டாளராக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

MOCVD என்பது செமிகண்டக்டர், ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் மற்றும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக் சாதன உற்பத்தியில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு துல்லியமான மெல்லிய பட வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும். MOCVD தொழில்நுட்பத்தின் மூலம், உயர்தர செமிகண்டக்டர் மெட்டீரியல் ஃபிலிம்களை அடி மூலக்கூறுகளில் (சிலிக்கான், சபையர், சிலிக்கான் கார்பைடு போன்றவை) டெபாசிட் செய்யலாம்.

MOCVD உபகரணங்களில், SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் உயர்-வெப்பநிலை எதிர்வினை அறையில் சீரான மற்றும் நிலையான வெப்ப சூழலை வழங்குகிறது, இது வாயு கட்ட இரசாயன எதிர்வினை தொடர அனுமதிக்கிறது, இதன் மூலம் அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் விரும்பிய மெல்லிய படலத்தை டெபாசிட் செய்கிறது.

SiC Coating graphite MOCVD heater working diagram

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் SiC பூச்சுடன் கூடிய உயர்தர கிராஃபைட் பொருட்களால் ஆனது. SiC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் எதிர்ப்பு வெப்பமாக்கல் கொள்கை மூலம் வெப்பத்தை உருவாக்குகிறது.

SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டரின் மையமானது கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு ஆகும். மின்னோட்டம் வெளிப்புற மின்சாரம் மூலம் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் கிராஃபைட்டின் எதிர்ப்பு பண்புகள் தேவையான உயர் வெப்பநிலையை அடைய வெப்பத்தை உருவாக்க பயன்படுகிறது. கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிறந்தது, இது விரைவாக வெப்பத்தை நடத்தும் மற்றும் வெப்பத்தை முழு ஹீட்டர் மேற்பரப்புக்கும் சமமாக மாற்றும். அதே நேரத்தில், SiC பூச்சு கிராஃபைட்டின் வெப்ப கடத்துத்திறனை பாதிக்காது, வெப்பமான வெப்பநிலை மாற்றங்களுக்கு விரைவாக பதிலளிக்கவும், சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்யவும் அனுமதிக்கிறது.

தூய கிராஃபைட் அதிக வெப்பநிலை நிலையில் ஆக்சிஜனேற்றத்திற்கு ஆளாகிறது. SiC பூச்சு கிராஃபைட்டை ஆக்சிஜனுடன் நேரடித் தொடர்பிலிருந்து திறம்பட தனிமைப்படுத்துகிறது, இதன் மூலம் ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்வினைகளைத் தடுக்கிறது மற்றும் ஹீட்டரின் ஆயுளை நீட்டிக்கிறது. கூடுதலாக, MOCVD உபகரணங்கள் இரசாயன நீராவி படிவுக்காக அரிக்கும் வாயுக்களை (அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன் போன்றவை) பயன்படுத்துகின்றன. SiC பூச்சுகளின் இரசாயன நிலைத்தன்மை இந்த அரிக்கும் வாயுக்களின் அரிப்பை திறம்பட எதிர்க்கவும் மற்றும் கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறைப் பாதுகாக்கவும் உதவுகிறது.

அதிக வெப்பநிலையின் கீழ், பூசப்படாத கிராஃபைட் பொருட்கள் கார்பன் துகள்களை வெளியிடலாம், இது படத்தின் படிவு தரத்தை பாதிக்கும். SiC பூச்சு பயன்பாடு கார்பன் துகள்களின் வெளியீட்டைத் தடுக்கிறது, MOCVD செயல்முறையை சுத்தமான சூழலில் மேற்கொள்ள அனுமதிக்கிறது, அதிக தூய்மை தேவைகளுடன் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

இறுதியாக, SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் பொதுவாக அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் சீரான வெப்பநிலையை உறுதி செய்வதற்காக ஒரு வட்ட அல்லது மற்ற வழக்கமான வடிவத்தில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. தடிமனான படங்களின் சீரான வளர்ச்சிக்கு வெப்பநிலை சீரான தன்மை முக்கியமானது, குறிப்பாக GaN மற்றும் InP போன்ற III-V சேர்மங்களின் MOCVD எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையில்.

VeTeK செமிகண்டக்டர் தொழில்முறை தனிப்பயனாக்குதல் சேவைகளை வழங்குகிறது. பெரும்பாலான MOCVD உபகரணங்களுக்கு ஏற்ற MOCVD உபகரணங்களுக்கான உயர்மட்ட ஹீட்டர்களை உற்பத்தி செய்ய தொழில்துறையில் முன்னணி எந்திரம் மற்றும் SiC பூச்சு திறன்கள் எங்களுக்கு உதவுகின்றன.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
SiC பூச்சு அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
SiC பூச்சு வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTeK செமிகண்டக்டர் SiC பூச்சு கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர் கடைகள்

Graphite substrate MOCVD epitaxial growth process test Silicon carbide ceramic processing Semiconductor process equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC கோட்டிங் கிராஃபைட் MOCVD ஹீட்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை