Vetek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சு ஆகியவற்றின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் தொழில்மயமாக்கலில் கவனம் செலுத்துகிறது. SiC பூச்சு சஸ்செப்டரை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், தயாரிப்பு அதிக துல்லியம், அடர்த்தியான CVD SIC பூச்சு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன் மிகவும் செயலாக்கப்படுகிறது. எங்கள் மீதான விசாரணை வரவேற்கத்தக்கது.
எங்கள் தொழிற்சாலையில் இருந்து SiC பூச்சு சஸ்செப்டரை வாங்குவதில் நீங்கள் உறுதியாக இருக்கலாம்.
CVD SiC பூச்சு உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுக்கு SiC கோட்டிங் சஸ்பெப்டர்களை வழங்க விரும்புகிறது, இது உயர் தூய்மையான கிராஃபைட் மற்றும் SiC பூச்சு சசெப்டரால் (5ppm க்கு கீழே) உருவாக்கப்பட்டுள்ளது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
Vetek செமிகண்டக்டரில், நாங்கள் தொழில்நுட்ப ஆராய்ச்சி, மேம்பாடு மற்றும் உற்பத்தி ஆகியவற்றில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம், தொழில்துறைக்கான மேம்பட்ட தயாரிப்புகளை வழங்குகிறோம். எங்களின் முக்கிய தயாரிப்பு வரிசையில் CVD SiC பூச்சு+உயர் தூய்மை கிராஃபைட், SiC பூச்சு சஸ்செப்டர், செமிகண்டக்டர் குவார்ட்ஸ், CVD TaC பூச்சு+உயர் தூய்மை கிராஃபைட், திடமான ஃபீல்ட் மற்றும் பிற பொருட்கள் உள்ளன.
எங்களின் முதன்மை தயாரிப்புகளில் ஒன்று SiC கோட்டிங் சஸ்பெப்டர் ஆகும், இது எபிடாக்சியல் வேஃபர் உற்பத்தியின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய புதுமையான தொழில்நுட்பத்துடன் உருவாக்கப்பட்டது. எபிடாக்சியல் செதில்கள் இறுக்கமான அலைநீள விநியோகம் மற்றும் குறைந்த மேற்பரப்பு குறைபாடு நிலைகளை வெளிப்படுத்த வேண்டும், இந்த முக்கியமான அளவுருக்களை அடைவதில் எங்கள் SiC பூச்சு சஸ்செப்டரை ஒரு முக்கிய அங்கமாக மாற்றுகிறது.
அடிப்படை பொருள் பாதுகாப்பு: CVD SiC பூச்சு எபிடாக்சியல் செயல்பாட்டின் போது ஒரு பாதுகாப்பு அடுக்காக செயல்படுகிறது, வெளிப்புற சூழலால் ஏற்படும் அரிப்பு மற்றும் சேதத்திலிருந்து அடிப்படை பொருளை திறம்பட பாதுகாக்கிறது. இந்த பாதுகாப்பு நடவடிக்கை உபகரணங்களின் சேவை வாழ்க்கையை பெரிதும் நீட்டிக்கிறது.
சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்: எங்கள் CVD SiC பூச்சு சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டுள்ளது, அடிப்படை பொருளிலிருந்து பூச்சு மேற்பரப்புக்கு வெப்பத்தை திறமையாக மாற்றுகிறது. இது எபிடாக்சியின் போது வெப்ப மேலாண்மை செயல்திறனை மேம்படுத்துகிறது, சாதனங்களுக்கு உகந்த இயக்க வெப்பநிலையை உறுதி செய்கிறது.
மேம்படுத்தப்பட்ட திரைப்படத் தரம்: CVD SiC பூச்சு ஒரு தட்டையான மற்றும் சீரான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, இது திரைப்பட வளர்ச்சிக்கு சிறந்த அடித்தளத்தை உருவாக்குகிறது. இது லேட்டிஸ் பொருத்தமின்மையால் ஏற்படும் குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது, எபிடாக்சியல் படத்தின் படிகத்தன்மை மற்றும் தரத்தை அதிகரிக்கிறது, இறுதியில் அதன் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.
உங்களின் எபிடாக்சியல் வேஃபர் தயாரிப்புத் தேவைகளுக்கு எங்கள் SiC கோட்டிங் சஸ்செப்டரைத் தேர்வுசெய்து, மேம்பட்ட பாதுகாப்பு, சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட படத் தரம் ஆகியவற்றிலிருந்து பயனடையுங்கள். செமிகண்டக்டர் துறையில் உங்கள் வெற்றியைப் பெற VeTek செமிகண்டக்டரின் புதுமையான தீர்வுகளை நம்புங்கள்.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |