உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருள்

CVD ஆல் தயாரிக்கப்பட்ட உயர் தூய்மையான CVD SiC மூலப்பொருள், உடல் நீராவி போக்குவரத்து மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு படிக வளர்ச்சிக்கான சிறந்த மூலப் பொருளாகும். VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படும் உயர் தூய்மையான CVD SiC மூலப்பொருளின் அடர்த்தி Si மற்றும் C-கொண்ட வாயுக்களை தன்னிச்சையாக எரிப்பதால் உருவான சிறிய துகள்களை விட அதிகமாக உள்ளது, மேலும் இதற்கு பிரத்யேக சின்டரிங் உலை தேவையில்லை மற்றும் கிட்டத்தட்ட நிலையான ஆவியாதல் விகிதம் உள்ளது. இது மிகவும் உயர்தர SiC ஒற்றை படிகங்களை வளர்க்க முடியும். உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டர் புதிய ஒன்றை உருவாக்கியுள்ளதுSiC ஒற்றை படிக மூலப்பொருள்- உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருள். இந்த தயாரிப்பு உள்நாட்டு இடைவெளியை நிரப்புகிறது மற்றும் உலகளவில் முன்னணி மட்டத்தில் உள்ளது, மேலும் போட்டியில் நீண்ட கால முன்னணி நிலையில் இருக்கும். பாரம்பரிய சிலிக்கான் கார்பைடு மூலப்பொருட்கள் உயர்-தூய்மை சிலிக்கானின் எதிர்வினை மற்றும்கிராஃபைட், விலை அதிகம், தூய்மை குறைந்த மற்றும் அளவு சிறியது.

VeTek செமிகண்டக்டரின் திரவப்படுத்தப்பட்ட படுக்கை தொழில்நுட்பமானது இரசாயன நீராவி படிவு மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு மூலப்பொருட்களை உருவாக்க மெத்தில்ட்ரிக்ளோரோசிலேனைப் பயன்படுத்துகிறது, மேலும் முக்கிய துணை தயாரிப்பு ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலமாகும். ஹைட்ரோகுளோரிக் அமிலம் காரத்துடன் நடுநிலையாக்குவதன் மூலம் உப்புகளை உருவாக்க முடியும், மேலும் சுற்றுச்சூழலுக்கு எந்த மாசுபாட்டையும் ஏற்படுத்தாது. அதே நேரத்தில், மெத்தில்ட்ரிக்ளோரோசிலேன் என்பது குறைந்த விலை மற்றும் பரந்த ஆதாரங்களுடன் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் தொழில்துறை வாயு ஆகும், குறிப்பாக சீனா மெத்தில்ட்ரிக்ளோரோசிலேனின் முக்கிய உற்பத்தியாளராக உள்ளது. எனவே, VeTek செமிகண்டக்டரின் உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருள் விலை மற்றும் தரம் ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் சர்வதேச முன்னணி போட்டித்தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருளின் தூய்மை அதிகமாக உள்ளது.99.9995%.

உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருளின் நன்மைகள்

High purity CVD SiC raw materials

● பெரிய அளவு மற்றும் அதிக அடர்த்தி

சராசரி துகள் அளவு சுமார் 4-10 மிமீ, மற்றும் உள்நாட்டு அச்செசன் மூலப்பொருட்களின் துகள் அளவு <2.5 மிமீ ஆகும். அதே வால்யூம் க்ரூசிபிள் 1.5 கிலோவுக்கும் அதிகமான மூலப்பொருட்களை வைத்திருக்க முடியும், இது பெரிய அளவிலான படிக வளர்ச்சிப் பொருட்களின் போதுமான விநியோகத்தின் சிக்கலைத் தீர்க்க உதவுகிறது, மூலப்பொருட்களின் கிராஃபிடைசேஷன் குறைக்கிறது, கார்பன் மடக்குதலைக் குறைக்கிறது மற்றும் படிக தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

●குறைந்த Si/C விகிதம்

இது சுய-பரப்பு முறையின் Acheson மூலப்பொருட்களை விட 1:1 க்கு அருகில் உள்ளது, இது Si பகுதி அழுத்தத்தின் அதிகரிப்பால் தூண்டப்பட்ட குறைபாடுகளைக் குறைக்கும்.

●உயர் வெளியீட்டு மதிப்பு

வளர்ந்த மூலப்பொருட்கள் இன்னும் முன்மாதிரியைப் பராமரிக்கின்றன, மறுபடிகமயமாக்கலைக் குறைக்கின்றன, மூலப்பொருட்களின் கிராஃபிடைசேஷனைக் குறைக்கின்றன, கார்பன் மடக்குதல் குறைபாடுகளைக் குறைக்கின்றன மற்றும் படிகங்களின் தரத்தை மேம்படுத்துகின்றன.

● அதிக தூய்மை

CVD முறையில் தயாரிக்கப்படும் மூலப்பொருட்களின் தூய்மை, சுய-பரப்பு முறையின் Acheson மூலப்பொருட்களை விட அதிகமாக உள்ளது. கூடுதல் சுத்திகரிப்பு இல்லாமல் நைட்ரஜன் உள்ளடக்கம் 0.09ppm ஐ எட்டியுள்ளது. இந்த மூலப்பொருள் அரை-இன்சுலேடிங் துறையில் முக்கிய பங்கு வகிக்க முடியும்.

● குறைந்த செலவு

சீரான ஆவியாதல் விகிதம் செயல்முறை மற்றும் தயாரிப்பு தரக் கட்டுப்பாட்டை எளிதாக்குகிறது, அதே நேரத்தில் மூலப்பொருட்களின் பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்துகிறது (பயன்பாட்டு விகிதம்> 50%, 4.5 கிலோ மூலப்பொருட்கள் 3.5 கிலோ இங்காட்களை உற்பத்தி செய்கின்றன), செலவுகளைக் குறைக்கிறது.

●குறைந்த மனித பிழை விகிதம்

வேதியியல் நீராவி படிவு மனித செயல்பாட்டின் மூலம் அறிமுகப்படுத்தப்பட்ட அசுத்தங்களைத் தவிர்க்கிறது.

உயர் தூய்மையான CVD SiC மூலப்பொருள் மாற்றுவதற்குப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு புதிய தலைமுறை தயாரிப்பு ஆகும்SiC ஒற்றை படிகங்களை வளர்க்க SiC தூள். வளர்ந்த SiC ஒற்றை படிகங்களின் தரம் மிக அதிகமாக உள்ளது. தற்போது, VeTek செமிகண்டக்டர் இந்த தொழில்நுட்பத்தை முழுமையாக தேர்ச்சி பெற்றுள்ளது. மேலும் இந்த தயாரிப்பை ஏற்கனவே சந்தையில் மிகவும் சாதகமான விலையில் வழங்க முடிகிறது.

VeTek செமிகண்டக்டர் உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருள் தயாரிப்பு கடைகள்:

SiC Coating Wafer Carrier Semiconductor process equipment CVD SiC Focus Ring SiC Single Crystal Equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: உயர் தூய்மை CVD SiC மூலப்பொருள், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை