VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek செமிகண்டக்டரின் EPI சசெப்டர் கோரும் எபிடாக்சியல் உபகரணப் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் உயர்-தூய்மை சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூசப்பட்ட கிராஃபைட் அமைப்பு சிறந்த வெப்ப எதிர்ப்பையும், சீரான எபிடாக்சியல் லேயர் தடிமன் மற்றும் எதிர்ப்பிற்கான சீரான வெப்ப சீரான தன்மை மற்றும் நீண்ட கால இரசாயன எதிர்ப்பையும் வழங்குகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைக்க நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் தொழில்முறை SiC பூச்சு செதில் கேரியர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, Vetek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு செதில் கேரியர்கள் முக்கியமாக எபிடாக்சியல் லேயரின் வளர்ச்சி சீரான தன்மையை மேம்படுத்தவும், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் அவற்றின் நிலைத்தன்மை மற்றும் ஒருமைப்பாட்டை உறுதிப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறேன்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் ALD Susceptor, CVD SiC பூச்சு, CVD TAC COATING கிராஃபைட் பேஸ் ஆகியவற்றின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். Vetek செமிகண்டக்டர் ALD அமைப்பு உற்பத்தியாளர்களுடன் இணைந்து SiC-பூசப்பட்ட ALD கிரக தளங்களை உருவாக்கி தயாரித்தது. உங்களுடன் மேலும் ஒத்துழைப்பை எதிர்பார்க்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் ஒரு தொழில்முறை CVD SiC பூசப்பட்ட உச்சவரம்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர், VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC பூசப்பட்ட உச்சவரம்பு உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக கடினத்தன்மை மற்றும் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம் போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் சிறந்த பொருள் தேர்வாக அமைகிறது. உங்களுடன் மேலும் ஒத்துழைப்பை எதிர்பார்க்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் MOCVD LED Epi Susceptor, ALD Planetary Susceptor, TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் ஆகியவற்றின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். VeTek செமிகண்டக்டரின் எம்ஓசிவிடி எல்இடி எபி சஸ்செப்டர் எபிடாக்சியல் உபகரணங்களின் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன நிலைத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவை நிலையான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறை மற்றும் உயர்தர குறைக்கடத்தி திரைப்பட உற்பத்தியை உறுதி செய்வதற்கான முக்கிய காரணிகளாகும். உங்களுடன் மேலும் ஒத்துழைப்பை எதிர்பார்க்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் தொழில்முறை SiC பூச்சு ALD சஸ்செப்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என, VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு ALD சசெப்டர் என்பது அணு அடுக்கு படிவு (ALD) செயல்பாட்டில் குறிப்பாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு ஆதரவு கூறு ஆகும். இது ALD கருவிகளில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, படிவு செயல்முறையின் சீரான தன்மை மற்றும் துல்லியத்தை உறுதி செய்கிறது. எங்களின் ALD Planetary Susceptor தயாரிப்புகள் உங்களுக்கு உயர்தர தயாரிப்பு தீர்வுகளைக் கொண்டு வர முடியும் என்று நாங்கள் நம்புகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு