EPI பெறுபவர்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை முன்னணி சீனா EPI ரிசீவர், ALD பிளானட்டரி ரிசீவர், TaC கோடட் கிராஃபைட் ரிசீவர் உற்பத்தியாளர்.

VeTek செமிகண்டக்டரின் EPI சசெப்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். அதன் முக்கிய செயல்பாடு செதில்களை ஆதரித்து வெப்பப்படுத்துவதாகும், இதனால் செதில் மேற்பரப்பில் உயர்தர எபிடாக்சியல் லேயரை ஒரே மாதிரியாக வளர்க்க முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர்களின் EPI சஸ்செப்டர்கள் பொதுவாக உயர்-தூய்மை கிராஃபைட்டால் ஆனது மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) அடுக்குடன் பூசப்பட்டிருக்கும். இந்த வடிவமைப்பு பின்வரும் முக்கிய நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது:

உயர் வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை: EPI சசெப்டர் உயர் வெப்பநிலை சூழலில் நிலையாக இருக்க முடியும், இது எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான வளர்ச்சியை உறுதி செய்கிறது.

அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது மற்றும் இரசாயன வாயுக்களின் அரிப்பை எதிர்க்க முடியும், இது தட்டில் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC பொருளின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தின் போது செதில்களின் சீரான வெப்பநிலை விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது, இதன் மூலம் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரத்தை மேம்படுத்துகிறது.

வெப்ப விரிவாக்க குணகம் பொருத்தம்: SiC இன் வெப்ப விரிவாக்கக் குணகம் கிராஃபைட்டைப் போன்றது, வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் சுருக்கம் காரணமாக பூச்சு உதிர்தல் சிக்கலைத் தவிர்க்கிறது.

அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்EPI பெறுபவர்:

CVD SiC பூச்சு தயாரிப்பு கடை:

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்: