VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் முன்னணி EPI வேஃபர் லிஃப்ட் பின் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் SiC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். Epi செயல்முறைக்கு EPI Wafer Lift Pin ஐ வழங்குகிறோம். உயர் தரம் மற்றும் போட்டி விலையுடன், சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் LPE சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி ரியாக்ஷன் சேம்பர்களுக்கான ஒரு விரிவான கூறு தீர்வுகளை வழங்குகிறது, நீண்ட ஆயுட்காலம், நிலையான தரம் மற்றும் மேம்படுத்தப்பட்ட எபிடாக்சியல் லேயர் விளைச்சலை வழங்குகிறது. SiC Coated Barrel Susceptor போன்ற எங்கள் தயாரிப்பு வாடிக்கையாளர்களிடமிருந்து நிலைக் கருத்துக்களைப் பெற்றது. Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy மற்றும் பலவற்றிற்கான தொழில்நுட்ப ஆதரவையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம். விலை விவரங்களுக்கு தயங்காமல் விசாரிக்கவும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் குறைக்கடத்தி SiC மற்றும் TaC பூச்சு திறன்களை இணைக்கும் ஒரு தொழிற்சாலை ஆகும். பீப்பாய் வகை Si Epi Susceptor வெப்பநிலை மற்றும் வளிமண்டல கட்டுப்பாட்டு திறன்களை வழங்குகிறது, குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைப்பு உறவை அமைக்க காத்திருக்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் சிறந்த உள்நாட்டு உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டரின் சீரான பூச்சுகளை வழங்க முடியும், இது 5ppm க்கும் குறைவான பூச்சு மற்றும் தயாரிப்பின் தூய்மையை திறம்பட கட்டுப்படுத்துகிறது. தயாரிப்பு ஆயுள் SGL உடன் ஒப்பிடத்தக்கது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் முன்னணி LPE Si Epi Susceptor Set உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சு மற்றும் TaC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். LPE PE2061S 4'' செதில்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட LPE Si Epi Susceptor தொகுப்பை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட் மெட்டீரியல் மற்றும் SiC பூச்சுகளின் பொருந்தக்கூடிய அளவு நன்றாக உள்ளது, சீரான தன்மை சிறப்பாக உள்ளது, மேலும் ஆயுள் நீண்டது, இது LPE (Liquid Phase Epitaxy) செயல்முறையின் போது எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியின் விளைச்சலை மேம்படுத்தும். எங்கள் தொழிற்சாலைக்கு வருகை தர உங்களை வரவேற்கிறோம். சீனா.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் முன்னணி Aixtron G5 MOCVD சஸ்செப்டர்கள் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல வருடங்களாக SiC பூச்சுப் பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். நாங்கள் Aixtron G5 MOCVD ரியாக்டருக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட Aixtron G5 MOCVD சஸ்செப்டர்களை வழங்குகிறோம். இந்த Aixtron G5 MOCVD சஸ்செப்டர்ஸ் கிட், செமிகண்டக்டர் உற்பத்திக்கு அதன் உகந்த அளவு, இணக்கத்தன்மை மற்றும் அதிக உற்பத்தித்திறன் கொண்ட பல்துறை மற்றும் திறமையான தீர்வாகும். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு