VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Vetek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சு ஆகியவற்றின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் தொழில்மயமாக்கலில் கவனம் செலுத்துகிறது. SiC பூச்சு சஸ்செப்டரை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், தயாரிப்பு அதிக துல்லியம், அடர்த்தியான CVD SIC பூச்சு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன் மிகவும் செயலாக்கப்படுகிறது. எங்கள் மீதான விசாரணை வரவேற்கத்தக்கது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் CVD-SiC மொத்த ஆதாரங்கள், CVD SiC பூச்சுகள் மற்றும் CVD TaC பூச்சுகளின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் தொழில்மயமாக்கலில் கவனம் செலுத்துகிறது. SiC கிரிஸ்டல் வளர்ச்சிக்கான CVD SiC ப்ளாக்கை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், தயாரிப்பு செயலாக்க தொழில்நுட்பம் மேம்பட்டது, வளர்ச்சி விகிதம் வேகமாக உள்ளது, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பு வலுவானது. விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டரின் அதி-உயர் தூய்மையான சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மூலம் உருவானது, உடல் நீராவி போக்குவரத்து (PVT) மூலம் சிலிக்கான் கார்பைடு படிகங்களை வளர்ப்பதற்கு ஒரு மூலப் பொருளாகப் பயன்படுத்தலாம். SiC கிரிஸ்டல் க்ரோத் புதிய தொழில்நுட்பத்தில், மூலப் பொருள் ஒரு சிலுவைக்குள் ஏற்றப்பட்டு விதை படிகத்தின் மீது பதங்கமாக்கப்பட்டிருக்கிறது. SiC படிகங்களை வளர்ப்பதற்கான ஆதாரமாக பொருட்களை மறுசுழற்சி செய்ய நிராகரிக்கப்பட்ட CVD-SiC தொகுதிகளைப் பயன்படுத்தவும். எங்களுடன் கூட்டுறவை ஏற்படுத்த வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் முன்னணி CVD SiC ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC மெட்டீரியலில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். CVD SiC ஷவர் ஹெட் அதன் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் நிலைத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனம் செலுத்தும் வளையப் பொருளாகத் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. பிளாஸ்மா அரிப்பு
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி SiC ஷவர் ஹெட் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC மெட்டீரியலில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.SiC ஷவர் ஹெட் அதன் சிறந்த தெர்மோகெமிக்கல் நிலைத்தன்மை, அதிக இயந்திர வலிமை மற்றும் பிளாஸ்மா அரிப்புக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனம் செலுத்தும் வளைய பொருளாக தேர்ந்தெடுக்கப்பட்டது. .சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புCVD SiC பூச்சுகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளரான VeTek செமிகண்டக்டர், Aixtron MOCVD உலைகளில் SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க்கை வழங்குகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க் உயர் தூய்மையான கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற CVD SiC பூச்சு கொண்டுள்ளது. இந்த தயாரிப்பு பற்றிய விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு