CVD SiC பூச்சுகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளரான VeTek செமிகண்டக்டர், Aixtron MOCVD உலைகளில் SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க்கை வழங்குகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க் உயர் தூய்மையான கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற CVD SiC பூச்சு கொண்டுள்ளது. இந்த தயாரிப்பு பற்றிய விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.
VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது SiC கோட்டிங் சீனாவின் உற்பத்தியாளர் & சப்ளையர் ஆகும், அவர் முக்கியமாக பல வருட அனுபவத்துடன் SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க், சேகரிப்பான், சஸ்பெக்டர் ஆகியவற்றை உற்பத்தி செய்கிறார். உங்களுடன் வணிக உறவை உருவாக்க நம்புகிறேன்.
Aixtron SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க் என்பது பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் கொண்ட தயாரிப்பு ஆகும். பாதுகாப்பு சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுடன் கூடிய உயர்தர கிராஃபைட் பொருட்களால் கிட் ஆனது.
வட்டின் மேற்பரப்பில் உள்ள சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு பல முக்கிய நன்மைகளைக் கொண்டுள்ளது. முதலாவதாக, இது கிராஃபைட் பொருளின் வெப்ப கடத்துத்திறனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது, திறமையான வெப்ப கடத்தல் மற்றும் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை அடைகிறது. இது பயன்பாட்டின் போது முழு வட்டு தொகுப்பின் சீரான வெப்பம் அல்லது குளிரூட்டலை உறுதி செய்கிறது, இதன் விளைவாக நிலையான செயல்திறன் கிடைக்கும்.
இரண்டாவதாக, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது, இது டிஸ்க் செட் அரிப்பை மிகவும் எதிர்க்கும். இந்த அரிப்பு எதிர்ப்பானது, கடுமையான மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் கூட, வட்டின் நீண்ட ஆயுளையும் நம்பகத்தன்மையையும் உறுதிசெய்கிறது, இது பல்வேறு பயன்பாட்டுக் காட்சிகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.
கூடுதலாக, சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சு வட்டு தொகுப்பின் ஒட்டுமொத்த ஆயுள் மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பை மேம்படுத்துகிறது. இந்த பாதுகாப்பு அடுக்கு வட்டு மீண்டும் மீண்டும் பயன்படுத்துவதைத் தாங்க உதவுகிறது, காலப்போக்கில் ஏற்படும் சேதம் அல்லது சிதைவு அபாயத்தைக் குறைக்கிறது. மேம்படுத்தப்பட்ட ஆயுள் வட்டு தொகுப்பின் நீண்ட கால செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.
Aixtron SiC கோட்டிங் செட் டிஸ்க்குகள் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி, இரசாயன செயலாக்கம் மற்றும் ஆராய்ச்சி ஆய்வகங்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், இரசாயன எதிர்ப்பு மற்றும் ஆயுள் துல்லியமான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் சூழல்கள் தேவைப்படும் முக்கியமான பயன்பாடுகளுக்கு சிறந்ததாக அமைகிறது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்தி | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |