VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Vetek செமிகண்டக்டர் வழங்கும் CVD SiC பூச்சுப் பாதுகாப்பாளரானது LPE SiC எபிடாக்ஸி ஆகும், "LPE" என்பது பொதுவாக குறைந்த அழுத்த இரசாயன நீராவி படிவுகளில் (LPCVD) குறைந்த அழுத்த எபிடாக்ஸியை (LPE) குறிக்கிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், LPE என்பது ஒற்றை படிக மெல்லிய படலங்களை வளர்ப்பதற்கான ஒரு முக்கியமான செயல்முறை தொழில்நுட்பமாகும், இது பெரும்பாலும் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் அடுக்குகள் அல்லது பிற குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்கப் பயன்படுகிறது. மேலும் கேள்விகளுக்கு எங்களைத் தொடர்புகொள்ள தயங்க வேண்டாம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூச்சு, கிராஃபைட் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு பொருட்களில் TaC பூச்சு தயாரிப்பதில் தொழில்முறை. நாங்கள் OEM மற்றும் ODM தயாரிப்புகளான SiC கோடட் பீடஸ்டல், வேஃபர் கேரியர், வேஃபர் சக், வேஃபர் கேரியர் ட்ரே, பிளானட்டரி டிஸ்க் மற்றும் பலவற்றை வழங்குகிறோம். 1000 தர சுத்தமான அறை மற்றும் சுத்திகரிப்பு சாதனத்துடன், 5ppm க்கும் குறைவான தூய்மையற்ற தயாரிப்புகளை நாங்கள் உங்களுக்கு வழங்க முடியும். கேட்க ஆவலுடன் காத்திருக்கிறோம். விரைவில் உங்களிடமிருந்து.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் குறிப்பிட்ட தேவைகளுக்கு ஏற்ப SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங்கிற்கான பெஸ்போக் வடிவமைப்புகளை உருவாக்க வாடிக்கையாளர்களுடன் நெருக்கமாக ஒத்துழைப்பதில் சிறந்து விளங்குகிறது. இந்த SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் CVD SiC உபகரணங்கள் மற்றும் சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி போன்ற பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்கு நுணுக்கமாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. வடிவமைக்கப்பட்ட SiC கோட்டிங் இன்லெட் ரிங் தீர்வுகளுக்கு, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட உதவிக்கு Vetek செமிகண்டக்டரை அணுக தயங்க வேண்டாம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை சீனா உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர், முக்கியமாக SiC பூசப்பட்ட ஆதரவு வளையங்கள், CVD சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) பூச்சுகள், டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுகள், மொத்த SiC, SiC பொடிகள் மற்றும் உயர்-தூய்மை SiC பொருட்கள் ஆகியவற்றை உற்பத்தி செய்கிறது. செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு சரியான தொழில்நுட்ப ஆதரவு மற்றும் இறுதி தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க நாங்கள் கடமைப்பட்டுள்ளோம், எங்களை தொடர்பு கொள்ள வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டரின் வேஃபர் சக் குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, வேகமான, உயர்தர வெளியீட்டை செயல்படுத்துகிறது. உள்நாட்டில் உற்பத்தி, போட்டி விலை நிர்ணயம் மற்றும் வலுவான R&D ஆதரவுடன், Vetek செமிகண்டக்டர் OEM/ODM சேவைகளில் துல்லியமான உதிரிபாகங்களுக்காக சிறந்து விளங்குகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புALD செயல்முறை, அதாவது அணு அடுக்கு எபிடாக்ஸி செயல்முறை. Vetek செமிகண்டக்டர் மற்றும் ALD சிஸ்டம் உற்பத்தியாளர்கள் SiC பூசப்பட்ட ALD பிளானெட்டரி சஸ்செப்டர்களை உருவாக்கி தயாரித்துள்ளனர், அவை ALD செயல்முறையின் உயர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்து அடி மூலக்கூறு மீது காற்றோட்டத்தை சமமாக விநியோகிக்கின்றன. அதே நேரத்தில், Vetek செமிகண்டக்டரின் உயர் தூய்மை CVD SiC பூச்சு செயல்பாட்டில் தூய்மையை உறுதி செய்கிறது. எங்களுடன் ஒத்துழைப்பைப் பற்றி விவாதிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு