TaC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள்

சீனாவில் TaC Coating Guide Rings தயாரிப்புகளின் முன்னணி உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி மோதிரங்கள் MOCVD உபகரணங்களில் முக்கியமான கூறுகளாக உள்ளன, இது எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் போது துல்லியமான மற்றும் நிலையான வாயு விநியோகத்தை உறுதிசெய்கிறது மற்றும் குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியில் ஒரு தவிர்க்க முடியாத பொருளாகும். எங்களை கலந்தாலோசிக்க வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையங்களின் செயல்பாடு:

துல்லியமான வாயு ஓட்டம் கட்டுப்பாடு: திTaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையம்இன் வாயு ஊசி அமைப்பில் மூலோபாய ரீதியாக நிலைநிறுத்தப்பட்டுள்ளதுMOCVD அணுஉலை. அதன் முதன்மை செயல்பாடு முன்னோடி வாயுக்களின் ஓட்டத்தை இயக்குவது மற்றும் அடி மூலக்கூறு செதில் மேற்பரப்பில் அவற்றின் சீரான விநியோகத்தை உறுதி செய்வதாகும். சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சி மற்றும் விரும்பிய பொருள் பண்புகளை அடைவதற்கு வாயு ஓட்ட இயக்கவியல் மீதான இந்த துல்லியமான கட்டுப்பாடு அவசியம்.

வெப்ப மேலாண்மை: TaC பூச்சு கையேடு மோதிரங்கள் பெரும்பாலும் வெப்பமான சஸ்செப்டர் மற்றும் அடி மூலக்கூறுக்கு அருகாமையில் இருப்பதால் உயர்ந்த வெப்பநிலையில் இயங்குகிறது. TaC இன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்க உதவுகிறது, உள்ளூர் வெப்பமடைவதை தடுக்கிறது மற்றும் எதிர்வினை மண்டலத்திற்குள் நிலையான வெப்பநிலை சுயவிவரத்தை பராமரிக்கிறது.

MOCVD இல் TaC இன் நன்மைகள்:

தீவிர வெப்பநிலை எதிர்ப்பு: TaC அனைத்து பொருட்களிலும் மிக உயர்ந்த உருகுநிலைகளில் ஒன்றாகும், 3800 ° C ஐ விட அதிகமாக உள்ளது.

சிறந்த இரசாயன செயலற்ற தன்மைஅம்மோனியா, சிலேன் மற்றும் பல்வேறு உலோக-கரிம சேர்மங்கள் போன்ற MOCVD இல் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்வினை முன்னோடி வாயுக்களிலிருந்து அரிப்பு மற்றும் இரசாயனத் தாக்குதலுக்கு TaC விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது.

இயற்பியல் பண்புகள்TaC பூச்சு:

இயற்பியல் பண்புகள்TaC பூச்சு
அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3*10^-6/கே
கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10^-5ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)

MOCVD செயல்திறனுக்கான நன்மைகள்:

MOCVD உபகரணங்களில் VeTek செமிகண்டக்டர் TaC பூச்சு கையேடு வளையத்தின் பயன்பாடு இதற்கு கணிசமாக பங்களிக்கிறது:

அதிகரித்த உபகரண இயக்க நேரம்: TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தின் ஆயுள் மற்றும் நீட்டிக்கப்பட்ட ஆயுட்காலம் அடிக்கடி மாற்றுவதற்கான தேவையைக் குறைக்கிறது, பராமரிப்பு வேலையில்லா நேரத்தைக் குறைக்கிறது மற்றும் MOCVD அமைப்பின் செயல்பாட்டுத் திறனை அதிகரிக்கிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட செயல்முறை நிலைத்தன்மை: TaC இன் வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை MOCVD அறைக்குள் மிகவும் நிலையான மற்றும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட எதிர்வினை சூழலுக்கு பங்களிக்கிறது, செயல்முறை மாறுபாடுகளை குறைக்கிறது மற்றும் இனப்பெருக்கத்தை மேம்படுத்துகிறது.

மேம்படுத்தப்பட்ட எபிடாக்சியல் அடுக்கு சீரான தன்மை: TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையங்களால் எளிதாக்கப்பட்ட துல்லியமான வாயு ஓட்டக் கட்டுப்பாடு சீரான முன்னோடி விநியோகத்தை உறுதிசெய்கிறது, இதன் விளைவாக மிகவும் சீரானதுஎபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சிசீரான தடிமன் மற்றும் கலவையுடன்.

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சுஒரு நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில்:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1

சூடான குறிச்சொற்கள்: TaC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரங்கள், உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், MOCVDக்கான TaC பூச்சு வளையம், தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, TaC பூச்சு வழிகாட்டி மோதிரம், நீடித்தது, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை