CVD SiC பான்கேக் சஸ்பெப்டர்

உயர்ந்த இயற்பியல் பண்புகள்

VeTek செமிகண்டக்டர் CVD SiC Pancake Susceptor ஆனது சமீபத்திய இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி சிறந்த ஆயுள் மற்றும் தீவிர வெப்பநிலைக்கு ஏற்றவாறு தயாரிக்கப்படுகிறது. பின்வருபவை அதன் முக்கிய இயற்பியல் பண்புகள்:

● வெப்ப நிலைத்தன்மை: CVD SiC இன் உயர் வெப்ப நிலைத்தன்மை உயர் வெப்பநிலை நிலைகளின் கீழ் நிலையான செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

● குறைந்த வெப்ப விரிவாக்க குணகம்: பொருள் மிகக் குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கக் குணகத்தைக் கொண்டுள்ளது, இது வெப்பநிலை மாற்றங்களால் ஏற்படும் சிதைவு மற்றும் சிதைவைக் குறைக்கிறது.

● இரசாயன அரிப்பு எதிர்ப்பு: சிறந்த இரசாயன எதிர்ப்பானது பல்வேறு கடுமையான சூழல்களில் அதிக செயல்திறனை பராமரிக்க உதவுகிறது.

துல்லியமான ஆதரவு மற்றும் உகந்த வெப்ப பரிமாற்றம்

VeTekSemi இன் Pancake Susceptor அடிப்படையிலான SiC பூசப்பட்ட செமிகண்டக்டர் செதில்களுக்கு இடமளிக்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் எபிடாக்சியல் படிவுகளின் போது சிறந்த ஆதரவை வழங்குகிறது. SiC Pancake Susceptor ஆனது வெவ்வேறு வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்த நிலைகளின் கீழ் வார்ப்பிங் மற்றும் சிதைவைக் குறைக்க மேம்பட்ட கணக்கீட்டு உருவகப்படுத்துதல் தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் வழக்கமான வெப்ப விரிவாக்க குணகம் சுமார் 4.0 × 10^ ஆகும்^-6/°C, அதாவது அதன் பரிமாண நிலைப்புத்தன்மை உயர்-வெப்பநிலை சூழலில் பாரம்பரிய பொருட்களை விட கணிசமாக சிறப்பாக உள்ளது, இதன் மூலம் செதில் தடிமன் (பொதுவாக 200 மிமீ முதல் 300 மிமீ வரை) நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

கூடுதலாக, CVD Pancake Susceptor வெப்ப பரிமாற்றத்தில் சிறந்து விளங்குகிறது, 120 W/m·K வரை வெப்ப கடத்துத்திறன் கொண்டது. இந்த உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் வெப்பத்தை விரைவாகவும் திறமையாகவும் நடத்துகிறது, உலைக்குள் வெப்பநிலை சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது, எபிடாக்சியல் படிவுகளின் போது சீரான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது மற்றும் சீரற்ற வெப்பத்தால் ஏற்படும் படிவு குறைபாடுகளைக் குறைக்கிறது. உகந்த வெப்ப பரிமாற்ற செயல்திறன் படிவு தரத்தை மேம்படுத்துவதற்கு முக்கியமானது, இது செயல்முறை ஏற்ற இறக்கங்களை திறம்பட குறைக்கலாம் மற்றும் விளைச்சலை மேம்படுத்தலாம்.

இந்த வடிவமைப்பு மற்றும் செயல்திறன் மேம்படுத்தல்கள் மூலம், VeTek செமிகண்டக்டரின் CVD SiC Pancake Susceptor ஆனது குறைக்கடத்தி உற்பத்திக்கான உறுதியான அடித்தளத்தை வழங்குகிறது, கடுமையான செயலாக்க நிலைமைகளின் கீழ் நம்பகத்தன்மை மற்றும் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது மற்றும் நவீன குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் உயர் துல்லியம் மற்றும் தரத்திற்கான கடுமையான தேவைகளை பூர்த்தி செய்கிறது.

CVD SIC ஃபிலிம் கிரிஸ்டல் அமைப்பு

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ-1·கே-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m-1·கே-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1