VeTek செமிகண்டக்டர் MOCVD தொழில்நுட்ப உதிரி பாகங்களில் அனுகூலத்தையும் அனுபவத்தையும் கொண்டுள்ளது.
MOCVD, உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு) என்பதன் முழுப் பெயர், உலோக-கரிம நீராவி நிலை எபிடாக்ஸி என்றும் அழைக்கப்படலாம். ஆர்கனோமெட்டாலிக் கலவைகள் என்பது உலோக-கார்பன் பிணைப்புகளைக் கொண்ட ஒரு வகை சேர்மங்கள் ஆகும். இந்த கலவைகள் ஒரு உலோகத்திற்கும் கார்பன் அணுவிற்கும் இடையே குறைந்தது ஒரு இரசாயன பிணைப்பைக் கொண்டிருக்கின்றன. உலோக-கரிம சேர்மங்கள் பெரும்பாலும் முன்னோடிகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன மற்றும் பல்வேறு படிவு நுட்பங்கள் மூலம் அடி மூலக்கூறில் மெல்லிய படலங்கள் அல்லது நானோ கட்டமைப்புகளை உருவாக்கலாம்.
உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD தொழில்நுட்பம்) என்பது ஒரு பொதுவான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தொழில்நுட்பமாகும், MOCVD தொழில்நுட்பம் குறைக்கடத்தி லேசர்கள் மற்றும் லெட்ஸ் தயாரிப்பில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. குறிப்பாக லெட்களை உற்பத்தி செய்யும் போது, காலியம் நைட்ரைடு (GaN) மற்றும் தொடர்புடைய பொருட்களின் உற்பத்திக்கு MOCVD ஒரு முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்.
எபிடாக்ஸியின் இரண்டு முக்கிய வடிவங்கள் உள்ளன: லிக்விட் பேஸ் எபிடாக்ஸி (எல்பிஇ) மற்றும் வேப்பர் ஃபேஸ் எபிடாக்ஸி (விபிஇ). வாயு கட்ட எபிடாக்ஸியை மேலும் உலோக-கரிம இரசாயன நீராவி படிவு (MOCVD) மற்றும் மூலக்கூறு கற்றை எபிடாக்ஸி (MBE) என பிரிக்கலாம்.
வெளிநாட்டு உபகரண உற்பத்தியாளர்கள் முக்கியமாக Aixtron மற்றும் Veeco ஆல் பிரதிநிதித்துவப்படுத்தப்படுகிறார்கள். MOCVD அமைப்பு லேசர்கள், லெட்ஸ், ஒளிமின்னழுத்த கூறுகள், சக்தி, RF சாதனங்கள் மற்றும் சூரிய மின்கலங்களை உற்பத்தி செய்வதற்கான முக்கிய கருவிகளில் ஒன்றாகும்.
எங்கள் நிறுவனத்தால் தயாரிக்கப்பட்ட MOCVD தொழில்நுட்ப உதிரி பாகங்களின் முக்கிய அம்சங்கள்:
1) அதிக அடர்த்தி மற்றும் முழு அடைப்பு: ஒட்டுமொத்தமாக கிராஃபைட் அடித்தளம் அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழலில் உள்ளது, மேற்பரப்பு முழுமையாக மூடப்பட்டிருக்க வேண்டும், மேலும் பூச்சு ஒரு நல்ல பாதுகாப்பு பாத்திரத்தை வகிக்க நல்ல அடர்த்தியைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
2) நல்ல மேற்பரப்பு தட்டையானது: ஒற்றை படிக வளர்ச்சிக்கு பயன்படுத்தப்படும் கிராஃபைட் தளத்திற்கு மிக உயர்ந்த மேற்பரப்பு தட்டையான தன்மை தேவைப்படுவதால், பூச்சு தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு அடித்தளத்தின் அசல் தட்டையான தன்மை பராமரிக்கப்பட வேண்டும், அதாவது, பூச்சு அடுக்கு ஒரே மாதிரியாக இருக்க வேண்டும்.
3) நல்ல பிணைப்பு வலிமை: கிராஃபைட் தளத்திற்கும் பூச்சுப் பொருளுக்கும் இடையே உள்ள வெப்ப விரிவாக்கத்தின் குணகத்தின் வேறுபாட்டைக் குறைக்கவும், இது இரண்டிற்கும் இடையேயான பிணைப்பு வலிமையை திறம்பட மேம்படுத்த முடியும், மேலும் அதிக மற்றும் குறைந்த வெப்பநிலை வெப்பத்தை அனுபவித்த பிறகு பூச்சு எளிதில் வெடிக்க முடியாது. சுழற்சி.
4) உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன்: உயர்தர சிப் வளர்ச்சிக்கு விரைவான மற்றும் சீரான வெப்பத்தை வழங்க கிராஃபைட் அடிப்படை தேவைப்படுகிறது, எனவே பூச்சு பொருள் அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனைக் கொண்டிருக்க வேண்டும்.
5) அதிக உருகுநிலை, அதிக வெப்பநிலை ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு: பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் வேலை சூழலில் நிலையாக வேலை செய்ய முடியும்.
4 அங்குல அடி மூலக்கூறு வைக்கவும்
எல்இடியை வளர்ப்பதற்கான நீல-பச்சை எபிடாக்ஸி
எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்பட்டுள்ளது
செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பு 4 அங்குல அடி மூலக்கூறு வைக்கவும்
UV LED எபிடாக்சியல் படம் வளர பயன்படுகிறது
எதிர்வினை அறையில் வைக்கப்பட்டுள்ளது
செதில்களுடன் நேரடி தொடர்பு Veeco K868/Veeco K700 இயந்திரம்
வெள்ளை LED எபிடாக்ஸி/ப்ளூ-கிரீன் LED எபிடாக்ஸி VEECO உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது
MOCVD எபிடாக்ஸிக்கு
SiC பூச்சு சஸ்செப்டர் Aixtron TS உபகரணங்கள்
ஆழமான புற ஊதா எபிடாக்ஸி
2 அங்குல அடி மூலக்கூறு வீகோ உபகரணங்கள்
சிவப்பு-மஞ்சள் LED எபிடாக்ஸி
4-அங்குல வேஃபர் அடி மூலக்கூறு TaC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்
(SiC Epi/ UV LED ரிசீவர்) SiC பூசப்பட்ட சஸ்செப்டர்
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD சஸ்செப்டர்)
VeTek செமிகண்டக்டரில், CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சு ஆகியவற்றின் ஆராய்ச்சி, மேம்பாடு மற்றும் தொழில்மயமாக்கலில் நாங்கள் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். ஒரு முன்மாதிரியான தயாரிப்பு SiC கோட்டிங் கவர் செக்மென்ட்ஸ் இன்னர் ஆகும், இது மிகவும் துல்லியமான மற்றும் அடர்த்தியான CVD SiC மேற்பரப்பை அடைவதற்கு விரிவான செயலாக்கத்திற்கு உட்படுகிறது. இந்த பூச்சு அதிக வெப்பநிலைக்கு விதிவிலக்கான எதிர்ப்பை நிரூபிக்கிறது மற்றும் வலுவான அரிப்பு பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. எந்த விசாரணைக்கும் எங்களை தொடர்பு கொள்ளவும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சுகளின் முன்னேற்றம் மற்றும் வணிகமயமாக்கலுக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது. ஒரு எடுத்துக்காட்டு, எங்கள் SiC பூச்சு அட்டைப் பிரிவுகள் நுட்பமான செயலாக்கத்திற்கு உட்படுகின்றன, இதன் விளைவாக அடர்த்தியான CVD SiC பூச்சு விதிவிலக்கான துல்லியத்துடன் கிடைக்கிறது. இது அதிக வெப்பநிலைக்கு குறிப்பிடத்தக்க எதிர்ப்பை வெளிப்படுத்துகிறது மற்றும் அரிப்புக்கு எதிராக வலுவான பாதுகாப்பை வழங்குகிறது. உங்கள் விசாரணைகளை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVetek செமிகண்டக்டர் CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TaC பூச்சு ஆகியவற்றின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் தொழில்மயமாக்கலில் கவனம் செலுத்துகிறது. MOCVD சஸ்செப்டரை உதாரணமாக எடுத்துக் கொண்டால், தயாரிப்பு அதிக துல்லியம், அடர்த்தியான CVD SIC பூச்சு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றுடன் மிகவும் செயலாக்கப்படுகிறது. எங்கள் மீதான விசாரணை வரவேற்கத்தக்கது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும், அவர் 4" வேஃபருக்கு உயர்தர MOCVD எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டரை வழங்க அர்ப்பணித்துள்ளார். வளமான தொழில் அனுபவம் மற்றும் ஒரு தொழில்முறை குழு, நாங்கள் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கு நிபுணத்துவம் வாய்ந்த மற்றும் திறமையான தீர்வுகளை வழங்க முடியும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் செமிகண்டக்டர் சஸ்செப்டர் பிளாக் SiC பூசப்பட்டது என்பது மிகவும் நம்பகமான மற்றும் நீடித்த சாதனமாகும். இது நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளைப் பராமரிக்கும் போது அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. அதன் சிறந்த செயல்முறை திறன்களுடன், செமிகண்டக்டர் சஸ்பெப்டர் பிளாக் SiC பூசப்பட்ட மாற்று மற்றும் பராமரிப்பின் அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கிறது, இதனால் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைக்க வாய்ப்பை எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் MOCVD சஸ்செப்டர் என்பது சிறந்த செயல்முறை, ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை கொண்ட ஒரு சாதனமாகும். அவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கி, நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளைப் பராமரிக்கின்றன, இதன் மூலம் மாற்று மற்றும் பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கின்றன மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன. எங்களின் MOCVD எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் அதன் அதிக அடர்த்தி, சிறந்த சமதளம் மற்றும் சிறந்த வெப்பக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்குப் புகழ்பெற்றது, இது கடுமையான உற்பத்திச் சூழல்களில் விருப்பமான கருவியாக அமைகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைக்க காத்திருக்கிறேன்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு