SiC பூசப்பட்ட எபி ரிசெப்டர்

சிலிக்கான் கார்பைடு மற்றும் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளின் சிறந்த உள்நாட்டு உற்பத்தியாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் துல்லியமான எந்திரம் மற்றும் SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டரின் சீரான பூச்சுகளை வழங்க முடியும், இது 5ppm க்கும் குறைவான பூச்சு மற்றும் தயாரிப்பின் தூய்மையை திறம்பட கட்டுப்படுத்துகிறது. தயாரிப்பு ஆயுள் SGL உடன் ஒப்பிடத்தக்கது. எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

எங்கள் தொழிற்சாலையில் இருந்து SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டரை வாங்க நீங்கள் உறுதியாக இருக்க முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டர் SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டர் என்பது எபிடாக்சியல் பீப்பாய் என்பது பல நன்மைகளுடன் குறைக்கடத்தி எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறைக்கான ஒரு சிறப்பு கருவியாகும்:

திறமையான உற்பத்தி திறன்: SiC கோடட் எபி சஸ்செப்டர் பல செதில்களுக்கு இடமளிக்கும், இது ஒரே நேரத்தில் பல செதில்களின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியை சாத்தியமாக்குகிறது. இந்த திறமையான உற்பத்தி திறன் உற்பத்தி திறனை பெரிதும் மேம்படுத்தி உற்பத்தி சுழற்சிகள் மற்றும் செலவுகளை குறைக்கும்.

உகந்த வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு: SiC கோடட் எபி சஸ்பெப்டர், தேவையான வளர்ச்சி வெப்பநிலையை துல்லியமாக கட்டுப்படுத்தவும் பராமரிக்கவும் மேம்பட்ட வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டு அமைப்புடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது. நிலையான வெப்பநிலை கட்டுப்பாடு சீரான எபிடாக்சியல் அடுக்கு வளர்ச்சியை அடைய உதவுகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் தரம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

சீரான வளிமண்டல விநியோகம்: SiC பூசப்பட்ட Epi Susceptor வளர்ச்சியின் போது ஒரு சீரான வளிமண்டல விநியோகத்தை வழங்குகிறது, ஒவ்வொரு செதில்களும் ஒரே வளிமண்டல நிலைமைகளுக்கு வெளிப்படுவதை உறுதி செய்கிறது. இது செதில்களுக்கு இடையிலான வளர்ச்சி வேறுபாடுகளைத் தவிர்க்க உதவுகிறது மற்றும் எபிடாக்சியல் அடுக்கின் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

பயனுள்ள தூய்மையற்ற கட்டுப்பாடு: SiC பூசப்பட்ட Epi Susceptor வடிவமைப்பு அசுத்தங்களின் அறிமுகம் மற்றும் பரவலைக் குறைக்க உதவுகிறது. இது நல்ல சீல் மற்றும் வளிமண்டலக் கட்டுப்பாட்டை வழங்கலாம், எபிடாக்சியல் லேயரின் தரத்தில் அசுத்தங்களின் தாக்கத்தைக் குறைக்கலாம், இதனால் சாதனத்தின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்தலாம்.

நெகிழ்வான செயல்முறை மேம்பாடு: SiC பூசப்பட்ட எபி சஸ்செப்டர் நெகிழ்வான செயல்முறை மேம்பாட்டு திறன்களைக் கொண்டுள்ளது, இது விரைவான சரிசெய்தல் மற்றும் வளர்ச்சி அளவுருக்களை மேம்படுத்த அனுமதிக்கிறது. இது பல்வேறு பயன்பாடுகள் மற்றும் தேவைகளின் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய விரைவான செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் மேம்படுத்தல்களை நடத்த ஆராய்ச்சியாளர்கள் மற்றும் பொறியாளர்களுக்கு உதவுகிறது.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்:

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய அளவு	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 J·kg-1·K-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்தி	300W·m-1·K-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10-6K-1

VeTek செமிகண்டக்டர் தயாரிப்பு கடை

செமிகண்டக்டர் சிப் எபிடாக்ஸி தொழில் சங்கிலியின் கண்ணோட்டம்:

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC கோடட் எபி சஸ்பெக்டர், சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, வாங்க, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை