SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு

SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி உலைக்கான ஒரு முக்கிய துணைப் பொருளாகும், இது குறைந்தபட்ச மாசுபாடு மற்றும் நிலையான எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி சூழலை உறுதி செய்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு மிக நீண்ட சேவை வாழ்க்கையை கொண்டுள்ளது மற்றும் பல்வேறு தனிப்பயனாக்குதல் விருப்பங்களை வழங்குகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு எதிர்நோக்குகிறது.

விசாரணையை அனுப்பு

தயாரிப்பு விளக்கம்

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு என்பது மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் வளர்ச்சிக்காக சிறப்பாக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி மற்றும் தொடர்புடைய குறைக்கடத்தி சாதனங்களின் தொழில்துறை பயன்பாட்டில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது.SiC பூச்சுதட்டில் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அரிப்பு எதிர்ப்பை கணிசமாக மேம்படுத்துவது மட்டுமல்லாமல், தீவிர சூழல்களில் நீண்ட கால நிலைத்தன்மை மற்றும் சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது.

SiC பூச்சுகளின் நன்மைகள்

SiC coating Monocrystalline silicon epitaxial tray working diagram

● அதிக வெப்ப கடத்துத்திறன்: SiC பூச்சு தட்டின் வெப்ப மேலாண்மை திறனை பெரிதும் மேம்படுத்துகிறது மற்றும் உயர்-சக்தி சாதனங்களால் உருவாக்கப்படும் வெப்பத்தை திறம்பட சிதறடிக்கும்.

● அரிப்பு எதிர்ப்பு: SiC பூச்சு அதிக வெப்பநிலை மற்றும் அரிக்கும் சூழல்களில் சிறப்பாக செயல்படுகிறது, நீண்ட கால சேவை வாழ்க்கை மற்றும் நம்பகத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

● மேற்பரப்பு சீரான தன்மை: ஒரு தட்டையான மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பை வழங்குகிறது, மேற்பரப்பின் சீரற்ற தன்மையால் ஏற்படும் உற்பத்திப் பிழைகளைத் திறம்படத் தவிர்த்து, எபிடாக்சியல் வளர்ச்சியின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

ஆராய்ச்சியின் படி, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் துளை அளவு 100 மற்றும் 500 nm க்கு இடையில் இருக்கும்போது, கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறில் SiC சாய்வு பூச்சு தயாரிக்கப்படலாம், மேலும் SiC பூச்சு வலுவான ஆக்ஸிஜனேற்ற திறனைக் கொண்டுள்ளது. இந்த கிராஃபைட்டில் (முக்கோண வளைவு) SiC பூச்சுகளின் ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு கிராஃபைட்டின் மற்ற குறிப்புகளை விட மிகவும் வலிமையானது, ஒற்றை படிக சிலிக்கான் எபிடாக்ஸியின் வளர்ச்சிக்கு ஏற்றது. VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு SGL கிராஃபைட்டைப் பயன்படுத்துகிறதுகிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு, இது போன்ற செயல்திறனை அடைய முடியும்.

VeTek செமிகண்டக்டரின் SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு சிறந்த பொருட்கள் மற்றும் மிகவும் மேம்பட்ட செயலாக்க தொழில்நுட்பத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. மிக முக்கியமாக, வாடிக்கையாளர்களுக்கு என்ன தயாரிப்புத் தனிப்பயனாக்கத் தேவைகள் இருந்தாலும், அவற்றைச் சந்திக்க எங்களால் முடிந்த அனைத்தையும் செய்யலாம்.

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்

CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள்
சொத்து	வழக்கமான மதிப்பு
படிக அமைப்பு	FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது
அடர்த்தி	3.21 g/cm³
கடினத்தன்மை	2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை)
தானிய எஸ்ஐze	2~10μm
இரசாயன தூய்மை	99.99995%
வெப்ப திறன்	640 ஜே·கிலோ^-1·கே^-1
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை	2700℃
நெகிழ்வு வலிமை	415 MPa RT 4-புள்ளி
யங்ஸ் மாடுலஸ்	430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃
வெப்ப கடத்துத்திறன்	300W·m^-1·கே^-1
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE)	4.5×10^-6K^-1

VeTek செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி கடைகள்

Graphite epitaxial substrate Semiconductor heating furnace equipment Graphite ring assembly Semiconductor process equipment

சூடான குறிச்சொற்கள்: SiC பூச்சு மோனோகிரிஸ்டலின் சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் தட்டு, சீனா, உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை, தனிப்பயனாக்கப்பட்ட, ஒற்றை கிரிஸ்டல் சிலிக்கான் எபிடாக்ஸி, மேம்பட்ட, நீடித்த, சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்டது

தயாரிப்பு குறிச்சொல்

தொடர்புடைய வகை