VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோக கூறுகளுக்கு பயன்படுத்த வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிக்கவும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்தவும் இது உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI மற்றும் பலவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 J·kg-1·K-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·K-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட அல்ட்ரா ப்யூர் கிராஃபைட் லோயர் ஹாஃப்மூனின் முன்னணி சப்ளையர், பல ஆண்டுகளாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. எங்கள் அல்ட்ரா ப்யூர் கிராஃபைட் லோயர் ஹாஃப்மூன் குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. அல்ட்ரா-ப்யூர் இறக்குமதி செய்யப்பட்ட கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இது நம்பகத்தன்மை மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. எங்களின் உயர்தர அல்ட்ரா ப்யூர் கிராஃபைட் லோயர் ஹாஃப்மூனை நேரடியாக ஆராய, சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலைக்குச் செல்லவும்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் சீனாவில் பூசப்பட்ட அப்பர் ஹாஃப்மூன் பார்ட் SiC இன் முன்னணி சப்ளையர் ஆகும், இது 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றது. VeTek செமிகண்டக்டர் அப்பர் ஹாஃப்மூன் பகுதி SiC பூசப்பட்டது குறிப்பாக SiC எபிடாக்சியல் உபகரணங்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, இது எதிர்வினை அறையில் ஒரு முக்கிய அங்கமாக செயல்படுகிறது. அல்ட்ரா-தூய, குறைக்கடத்தி-தர கிராஃபைட்டிலிருந்து தயாரிக்கப்பட்டது, இது சிறந்த செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை அழைக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் உள்ள ஒரு முன்னணி தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி வேஃபர் கேரியர் சப்ளையர் ஆகும். நாங்கள் 20 ஆண்டுகளுக்கும் மேலாக மேம்பட்ட பொருட்களில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். SiC அடி மூலக்கூறை எடுத்துச் செல்வதற்காக, SiC எபிடாக்ஸி லேயரை SiC எபிடாக்சியல் ரியாக்டரில் வளர்ப்பதற்காக நாங்கள் Silicon Carbide Epitaxy Wafer Carrier ஐ வழங்குகிறோம். இந்த சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்சி வேஃபர் கேரியர் அரை நிலவு பகுதியின் முக்கியமான SiC பூசப்பட்ட பகுதி, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, ஆக்சிஜனேற்ற எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு. சீனாவில் உள்ள எங்கள் தொழிற்சாலையைப் பார்வையிட உங்களை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் MOCVD சஸ்செப்டர் என்பது சிறந்த செயல்முறை, ஆயுள் மற்றும் நம்பகத்தன்மை கொண்ட ஒரு சாதனமாகும். அவை அதிக வெப்பநிலை மற்றும் இரசாயன சூழல்களைத் தாங்கி, நிலையான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட ஆயுளைப் பராமரிக்கின்றன, இதன் மூலம் மாற்று மற்றும் பராமரிப்பு அதிர்வெண்ணைக் குறைக்கின்றன மற்றும் உற்பத்தி செயல்திறனை மேம்படுத்துகின்றன. எங்களின் MOCVD எபிடாக்சியல் சஸ்செப்டர் அதன் அதிக அடர்த்தி, சிறந்த சமதளம் மற்றும் சிறந்த வெப்பக் கட்டுப்பாடு ஆகியவற்றிற்குப் புகழ்பெற்றது, இது கடுமையான உற்பத்திச் சூழல்களில் விருப்பமான கருவியாக அமைகிறது. உங்களுடன் ஒத்துழைக்க காத்திருக்கிறேன்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் SiC கோடட் ICP எட்ச்சிங் கேரியர் மிகவும் தேவைப்படும் எபிடாக்ஸி உபகரணப் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. உயர்தர அல்ட்ரா-தூய கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது, எங்கள் SiC கோடட் ICP எட்ச்சிங் கேரியர் மிகவும் தட்டையான மேற்பரப்பு மற்றும் கையாளுதலின் போது கடுமையான நிலைமைகளைத் தாங்கும் சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளது. SiC பூசப்பட்ட கேரியரின் உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன் சிறந்த செதுக்கல் முடிவுகளுக்கு சமமான வெப்ப விநியோகத்தை உறுதி செய்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்களுடன் ஒரு நீண்ட கால கூட்டாண்மையை உருவாக்க எதிர்நோக்குகிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசெமிகண்டக்டருக்கான VeTek செமிகண்டக்டரின் PSS எட்ச்சிங் கேரியர் பிளேட் என்பது செதில் கையாளும் செயல்முறைகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட உயர்தர, அதி-தூய கிராஃபைட் கேரியர் ஆகும். எங்கள் கேரியர்கள் சிறந்த செயல்திறன் கொண்டவை மற்றும் கடுமையான சூழல்கள், அதிக வெப்பநிலை மற்றும் கடுமையான இரசாயன துப்புரவு நிலைகளில் சிறப்பாக செயல்பட முடியும். எங்கள் தயாரிப்புகள் பல ஐரோப்பிய மற்றும் அமெரிக்க சந்தைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்டகால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு