CVD TAC பூச்சு என்றால் என்ன?

நாம் அனைவரும் அறிந்தபடி,TaC3880 ° C வரை உருகும் புள்ளி உள்ளது, அதிக இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை, வெப்ப அதிர்ச்சி எதிர்ப்பு; நல்ல இரசாயன செயலற்ற தன்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலையில் அம்மோனியா, ஹைட்ரஜன், சிலிக்கான் கொண்ட நீராவிக்கு வெப்ப நிலைத்தன்மை.

CVD TAC பூச்சு, இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) இன்டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு, ஒரு அடி மூலக்கூறில் (பொதுவாக கிராஃபைட்) அதிக அடர்த்தி மற்றும் நீடித்த பூச்சு உருவாக்கும் செயல்முறை ஆகும். இந்த முறையானது உயர் வெப்பநிலையில் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் TaC ஐ வைப்பதை உள்ளடக்கியது, இதன் விளைவாக சிறந்த வெப்ப நிலைப்புத்தன்மை மற்றும் இரசாயன எதிர்ப்புடன் பூச்சு ஏற்படுகிறது.

CVD TaC பூச்சுகளின் முக்கிய நன்மைகள் பின்வருமாறு:

மிக உயர்ந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை: 2200°C க்கும் அதிகமான வெப்பநிலையைத் தாங்கும்.

இரசாயன எதிர்ப்பு: ஹைட்ரஜன், அம்மோனியா மற்றும் சிலிக்கான் நீராவி போன்ற கடுமையான இரசாயனங்களை திறம்பட எதிர்க்க முடியும்.

வலுவான ஒட்டுதல்: நீக்கம் இல்லாமல் நீண்ட கால பாதுகாப்பை உறுதி செய்கிறது.

உயர் தூய்மை: அசுத்தங்களைக் குறைக்கிறது, குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளுக்கு ஏற்றதாக அமைகிறது.

செமிகண்டக்டர் உற்பத்தி மற்றும் உயர் வெப்பநிலை தொழில்துறை செயல்முறைகள் போன்ற தீவிர நிலைமைகளுக்கு அதிக ஆயுள் மற்றும் எதிர்ப்பு தேவைப்படும் சூழல்களுக்கு இந்த பூச்சுகள் குறிப்பாக பொருத்தமானவை.

தொழில்துறை உற்பத்தியில், TaC பூச்சுடன் பூசப்பட்ட கிராஃபைட் (கார்பன்-கார்பன் கலவை) பொருட்கள் பாரம்பரிய உயர்-தூய்மை கிராஃபைட், pBN பூச்சு, SiC பூச்சு பாகங்கள் போன்றவற்றை மாற்றுவதற்கான வாய்ப்புகள் அதிகம். கூடுதலாக, விண்வெளித் துறையில், TaC ஆனது பெரும் ஆற்றலைக் கொண்டுள்ளது. உயர்-வெப்பநிலை ஆக்ஸிஜனேற்ற எதிர்ப்பு மற்றும் எதிர்ப்பு நீக்கம் பூச்சாக பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் பரந்த பயன்பாட்டு வாய்ப்புகள் உள்ளன. இருப்பினும், கிராஃபைட்டின் மேற்பரப்பில் அடர்த்தியான, சீரான, செதில்களாக இல்லாத TaC பூச்சு தயாரிப்பதை அடைவதற்கும், தொழில்துறை வெகுஜன உற்பத்தியை ஊக்குவிப்பதற்கும் இன்னும் பல சவால்கள் உள்ளன.

இந்தச் செயல்பாட்டில், பூச்சுகளின் பாதுகாப்பு பொறிமுறையை ஆராய்வது, உற்பத்தி செயல்முறையை புதுமைப்படுத்துவது மற்றும் உயர்மட்ட வெளிநாட்டு மட்டத்துடன் போட்டியிடுவது ஆகியவை மூன்றாம் தலைமுறை குறைக்கடத்தி படிக வளர்ச்சி மற்றும் எபிடாக்ஸிக்கு முக்கியமானவை.