> தயாரிப்புகள் > டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு

தயாரிப்புகள்

புதிய தயாரிப்புகள்

சீனா டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியாளர், சப்ளையர், தொழிற்சாலை

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு வழங்கல்களில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ISO9001 ஐப் பெற்றால், VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது.

முக்கிய தயாரிப்புகள் ஆகும்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு குறைபாடு வளையம், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு பாகங்கள், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு (Aixtron G10) , TaC பூசப்பட்ட க்ரூசிபிள்; TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்; டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்; TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்; TaC டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டு; TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்பெப்டர்; TaC பூச்சு வளையம்; TaC பூச்சு கிராஃபைட் கவர்; TaC பூசப்பட்ட துண்டுமுதலியன, தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.

TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு 3880 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளுடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. Aixtron MOCVD அமைப்பு மற்றும் LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை போன்றவை. இது PVT முறை SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையிலும் பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.

முக்கிய அம்சங்கள்:

வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை

அல்ட்ரா உயர் தூய்மை

H2, NH3, SiH4,Siக்கு எதிர்ப்பு

வெப்ப பங்குக்கு எதிர்ப்பு

கிராஃபைட்டுடன் வலுவான ஒட்டுதல்

முறையான பூச்சு கவரேஜ்

750 மிமீ விட்டம் வரை அளவு (சீனாவில் உள்ள ஒரே உற்பத்தியாளர் இந்த அளவை அடைகிறார்)

விண்ணப்பங்கள்:

வேஃபர் கேரியர்

தூண்டல் வெப்பமூட்டும் உறிஞ்சி

எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு

செயற்கைக்கோள் வட்டு

ஷவர்ஹெட்

வழிகாட்டி வளையம்

LED எபி ரிசீவர்

ஊசி முனை

முகமூடி வளையம்

வெப்ப கவசம்

நுண்ணிய குறுக்குவெட்டில் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு அளவுரு:

TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள்
அடர்த்தி	14.3 (g/cm³)
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு	0.3
வெப்ப விரிவாக்க குணகம்	6.3 10^-6/கே
கடினத்தன்மை (HK)	2000 எச்.கே
எதிர்ப்பு	1×10^-5ஓம்* செ.மீ
வெப்ப நிலைத்தன்மை	<2500℃
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது	-10~-20um
பூச்சு தடிமன்	≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um)

TaC பூச்சு EDX தரவு：

TaC coating EDX data

TaC பூச்சு படிக அமைப்பு தரவு

உறுப்பு	அணு சதவீதம்
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	சராசரி
சி கே	52.10	57.41	52.37	53.96
டா எம்	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC பூச்சு சக் TaC பூச்சு கிரக வட்டு TaC Coated Plate TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு TaC பூச்சு உறிஞ்சி CVD TaC பூச்சு கவர் CVD TaC பூச்சு வளையம் TaC பூச்சு தட்டு

View as

படிக வளர்ச்சிக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட குழாய்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் உள்ள கிரிஸ்டல் க்ரோத் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு கோடட் டியூப் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக பீங்கான் பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக மாற நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம். சீனாவில்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

SiC எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கான TaC பூசப்பட்ட மோதிரம்

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் SiC எபிடாக்சியல் ரியாக்டர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான பெரிய அளவிலான TaC பூசப்பட்ட வளையமாகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அதிக தூய்மை, உயர் நிலைத்தன்மை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, அதிக பிணைப்பு வலிமை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளன. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக மாற முன்னோக்கி.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

LPEக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பகுதி

VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் LPE உற்பத்தியாளர் மற்றும் கண்டுபிடிப்பாளர்களுக்கான பெரிய அளவிலான டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட ஹாஃப்மூன் பாகமாகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக TaC பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் 2000 டிகிரி செல்சியஸுக்கு மேல் வெப்பநிலையைத் தாங்கும், நுகர்பொருட்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கும். நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி TaC கோடட் கையேடு ரிங் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக பீங்கான் பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம்.TaC கோடட் கைடு ரிங் முதன்மையாக காற்றோட்டத்தை வழிநடத்தவும் கட்டுப்படுத்தவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இது ஒற்றை படிக வளர்ச்சியின் விளைச்சலை அதிகரிக்கிறது. மேலும் தகவலுக்கு எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி டான்டலம் கார்பைடு கோடட் பிளானட்டரி ரோட்டேஷன் டிஸ்க் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் புதுமைப்பித்தன் ஆகும். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக பீங்கான் பூச்சு செய்வதில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் தயாரிப்புகள் அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பைக் கொண்டுள்ளன. உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம். சீனா.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர்

VeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு முன்னணி TaC கோடட் கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் கண்டுபிடிப்பாளர். நாங்கள் பல ஆண்டுகளாக SiC மற்றும் TaC பூச்சுகளில் நிபுணத்துவம் பெற்றுள்ளோம். எங்கள் TaC பூசப்பட்ட கிராஃபைட் வேஃபர் கேரியர் அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் அணிய-எதிர்ப்பு கொண்டது. சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.

மேலும் படிக்க விசாரணையை அனுப்பு

<...3 4 5 6 7 >

சீனாவில் ஒரு தொழில்முறை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் என்பதால், எங்களிடம் எங்கள் சொந்த தொழிற்சாலை உள்ளது. உங்கள் பிராந்தியத்தின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவைகள் தேவைப்பட்டாலும் அல்லது சீனாவில் தயாரிக்கப்பட்ட மேம்பட்ட மற்றும் நீடித்த டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுஐ வாங்க விரும்பினாலும், நீங்கள் எங்களுக்கு ஒரு செய்தியை அனுப்பலாம்.