VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ISO9001 ஐப் பெற்றால், VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுத் தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது, தொடர்ந்து ஆராய்ச்சி மற்றும் மறுசெயல் தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துகிறது.
முக்கிய தயாரிப்புகள் ஆகும்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு டிஃபெக்டர் ரிங், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு பாகங்கள், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு (Aixtron G10) , TaC பூசப்பட்ட க்ரூசிபிள்; TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்; டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்; TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்; TaC டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டு; TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்பெப்டர்; TaC பூச்சு வளையம்; TaC பூச்சு கிராஃபைட் கவர்; TaC பூசப்பட்ட துண்டுமுதலியன, தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு 3880 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்தது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளுடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. Aixtron MOCVD அமைப்பு மற்றும் LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை போன்றவை. இது PVT முறை SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையிலும் பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.
●வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
●அல்ட்ரா உயர் தூய்மை
●H2, NH3, SiH4,Siக்கு எதிர்ப்பு
●வெப்ப பங்குக்கு எதிர்ப்பு
●கிராஃபைட்டுடன் வலுவான ஒட்டுதல்
●முறையான பூச்சு கவரேஜ்
● 750 மிமீ விட்டம் வரை அளவு (சீனாவில் உள்ள ஒரே உற்பத்தியாளர் இந்த அளவை அடைகிறார்)
● இண்டக்டிவ் ஹீட்டிங் சசெப்டர்
● எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
● வெப்ப கவசம்
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
உறுப்பு | அணு சதவீதம் | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | சராசரி | |
சி கே | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
எம் | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு ஒரு சிறந்த TaC பூச்சுடன் உள்ளது, அதன் விதிவிலக்கான TaC பூச்சுடன், TaC பூச்சு சுழற்சி தட்டு குறிப்பிடத்தக்க உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. விலைகள் மற்றும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருப்பதற்கு எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் பிளேட் என்பது சிறப்பான அம்சங்கள் மற்றும் நன்மைகளை வழங்கும் ஒரு குறிப்பிடத்தக்க தயாரிப்பு ஆகும். துல்லியமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, கச்சிதமாக வடிவமைக்கப்பட்டு, எங்கள் TaC கோட்டிங் பிளேட், சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) ஒற்றை படிக வளர்ச்சி செயல்முறைகளில் பல்வேறு பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. TaC கோட்டிங் பிளேட்டின் துல்லியமான பரிமாணங்கள் மற்றும் வலுவான கட்டுமானம், தடையற்ற இணக்கத்தன்மையை உறுதிசெய்து, ஏற்கனவே உள்ள அமைப்புகளுடன் ஒருங்கிணைப்பதை எளிதாக்குகிறது. மற்றும் திறமையான செயல்பாடு. அதன் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர பூச்சு SiC படிக வளர்ச்சி பயன்பாடுகளில் சீரான மற்றும் சீரான முடிவுகளுக்கு பங்களிக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்கள் நீண்ட கால பங்காளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்படும் CVD TaC பூச்சு அட்டையானது, தேவைப்படும் பயன்பாடுகளுக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட மிகவும் சிறப்பு வாய்ந்த கூறு ஆகும். அதன் மேம்பட்ட அம்சங்கள் மற்றும் விதிவிலக்கான செயல்திறனுடன், எங்கள் CVD TaC கோட்டிங் கவர் பல முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகிறது. எங்கள் CVD TaC பூச்சு அட்டையானது வெற்றிக்குத் தேவையான பாதுகாப்பையும் செயல்திறனையும் வழங்குகிறது. உங்களுடன் சாத்தியமான ஒத்துழைப்பை ஆராய்வதை நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்!
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர்'TaC கோட்டிங் பிளானட்டரி சஸ்பெப்டர் என்பது Aixtron epitaxy உபகரணங்களுக்கான ஒரு விதிவிலக்கான தயாரிப்பு ஆகும். வலுவான TaC பூச்சு சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மையை வழங்குகிறது. இந்த தனித்துவமான கலவையானது நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, கோரும் சூழலில் கூட உறுதி செய்கிறது. VeTek உயர்தர தயாரிப்புகளை வழங்குவதற்கும், போட்டி விலையுடன் சீன சந்தையில் நீண்ட கால பங்காளியாக சேவை செய்வதற்கும் உறுதிபூண்டுள்ளது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் பீடஸ்டல் சப்போர்ட் பிளேட் என்பது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளின் குறிப்பிட்ட தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்ட உயர் துல்லியமான தயாரிப்பு ஆகும். அதன் TaC பூச்சு, உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மை ஆகியவற்றுடன், எங்கள் தயாரிப்பு உயர் தரத்துடன் உயர்தர EPI அடுக்குகளை உருவாக்க உங்களுக்கு அதிகாரம் அளிக்கிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்குவதற்கு நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு சக் உயர்தர TaC பூச்சுகளைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக சிலிக்கான் கார்பைடு (SiC) எபிடாக்ஸி (EPI) செயல்முறைகளில் அதன் சிறந்த உயர்-வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன செயலற்ற தன்மைக்கு பெயர் பெற்றது. அதன் விதிவிலக்கான அம்சங்கள் மற்றும் சிறந்த செயல்திறனுடன், எங்கள் TaC கோட்டிங் சக் பல முக்கிய நன்மைகளை வழங்குகிறது. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு