VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு வழங்கல்களில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ISO9001 ஐப் பெற்றால், VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது.
முக்கிய தயாரிப்புகள் ஆகும்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு குறைபாடு வளையம், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு பாகங்கள், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு (Aixtron G10) , TaC பூசப்பட்ட க்ரூசிபிள்; TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்; டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்; TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்; TaC டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டு; TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்பெப்டர்; TaC பூச்சு வளையம்; TaC பூச்சு கிராஃபைட் கவர்; TaC பூசப்பட்ட துண்டுமுதலியன, தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு 3880 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்துள்ளது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளுடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. Aixtron MOCVD அமைப்பு மற்றும் LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை போன்றவை. இது PVT முறை SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையிலும் பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.
வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
அல்ட்ரா உயர் தூய்மை
H2, NH3, SiH4,Siக்கு எதிர்ப்பு
வெப்ப பங்குக்கு எதிர்ப்பு
கிராஃபைட்டுடன் வலுவான ஒட்டுதல்
முறையான பூச்சு கவரேஜ்
750 மிமீ விட்டம் வரை அளவு (சீனாவில் உள்ள ஒரே உற்பத்தியாளர் இந்த அளவை அடைகிறார்)
வேஃபர் கேரியர்
தூண்டல் வெப்பமூட்டும் உறிஞ்சி
எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
செயற்கைக்கோள் வட்டு
ஷவர்ஹெட்
வழிகாட்டி வளையம்
LED எபி ரிசீவர்
ஊசி முனை
முகமூடி வளையம்
வெப்ப கவசம்
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
உறுப்பு | அணு சதவீதம் | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | சராசரி | |
சி கே | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
டா எம் | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் TaC கோட்டிங் பிளேட் மற்றும் பிற TaC பூச்சு உதிரி பாகங்களின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர். TaC பூச்சு தற்போது முக்கியமாக சிலிக்கான் கார்பைடு சிங்கிள் கிரிஸ்டல் வளர்ச்சி (PVT முறை), எபிடாக்சியல் டிஸ்க் (சிலிக்கான் கார்பைடு எபிடாக்ஸி, எல்இடி எபிடாக்ஸி உட்பட) போன்ற செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. பூச்சு தட்டு TaC பூச்சு உதிரி பாகங்களுக்கான அளவுகோலாக மாறியுள்ளது. நீங்கள் எங்களின் நீண்ட கால பங்காளியாக ஆவீர்கள் என எதிர்பார்க்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் SiC epi susceptor, CVD SiC பூச்சு மற்றும் CVD TAC COATING கிராஃபைட் சசெப்டர் ஆகியவற்றில் GaN இன் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் ஆகும். அவற்றில், SiC எபி சசெப்டரில் உள்ள GaN குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது. அதன் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன், உயர் வெப்பநிலை செயலாக்க திறன் மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் மூலம், இது GaN எபிடாக்சியல் வளர்ச்சி செயல்முறையின் உயர் செயல்திறன் மற்றும் பொருள் தரத்தை உறுதி செய்கிறது. உங்களின் மேலான ஆலோசனையை நாங்கள் உண்மையாக எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் CVD TaC கோட்டிங் கேரியர் முக்கியமாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் எபிடாக்சியல் செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. CVD TaC கோட்டிங் கேரியரின் அல்ட்ரா-உயர் உருகுநிலை, சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை ஆகியவை செமிகண்டக்டர் எபிடாக்சியல் செயல்முறையில் இந்த தயாரிப்பின் இன்றியமையாமையை தீர்மானிக்கிறது. உங்களுடன் நீண்ட கால வணிக உறவை உருவாக்க நாங்கள் உண்மையிலேயே நம்புகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC பூச்சு கையேடு வளையமானது கிராஃபைட் பாகங்களில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுகளைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) எனப்படும் மிகவும் மேம்பட்ட நுட்பத்தைப் பயன்படுத்தி உருவாக்கப்படுகிறது. இந்த முறை நன்கு நிறுவப்பட்டது மற்றும் விதிவிலக்கான பூச்சு பண்புகளை வழங்குகிறது. TaC பூச்சு வழிகாட்டி வளையத்தைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், கிராஃபைட் கூறுகளின் ஆயுட்காலம் கணிசமாக நீட்டிக்கப்படலாம், கிராஃபைட் அசுத்தங்களின் இயக்கத்தை அடக்கலாம் மற்றும் SiC மற்றும் AIN ஒற்றை படிகத் தரத்தை நம்பகத்தன்மையுடன் பராமரிக்கலாம். எங்களை விசாரிக்க வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர், கிராஃபைட் பாகங்களின் மேற்பரப்பில் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்பதற்கு இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையைப் பயன்படுத்துகிறது. இந்த செயல்முறை மிகவும் முதிர்ச்சியடைந்தது மற்றும் சிறந்த பூச்சு பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. TaC கோடட் கிராஃபைட் சஸ்பெப்டர் கிராஃபைட் கூறுகளின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்க முடியும், கிராஃபைட் அசுத்தங்கள் இடம்பெயர்வதைத் தடுக்கிறது மற்றும் எபிடாக்ஸியின் தரத்தை உறுதிப்படுத்துகிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் உங்கள் விசாரணைக்காக காத்திருக்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் TaC கோட்டிங் சஸ்பெப்டரை வழங்குகிறது, அதன் விதிவிலக்கான TaC பூச்சுடன், இந்த susceptor பல நன்மைகளை வழங்குகிறது, இது வழக்கமான தீர்வுகளிலிருந்து தனித்து நிற்கிறது. ஏற்கனவே உள்ள அமைப்புகளில் தடையின்றி ஒருங்கிணைக்கிறது, VeTek செமிகண்டக்டரின் TaC கோட்டிங் சஸ்செப்டர் செயல்பாடு. இணக்கத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது. அதன் நம்பகமான செயல்திறன் மற்றும் உயர்தர TaC பூச்சு ஆகியவை SiC epitaxy செயல்முறைகளில் விதிவிலக்கான முடிவுகளைத் தொடர்ந்து வழங்குகின்றன. தரமான தயாரிப்புகளை போட்டி விலையில் வழங்க நாங்கள் உறுதிபூண்டுள்ளோம், மேலும் சீனாவில் உங்களின் நீண்டகால கூட்டாளியாக இருக்க காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு