VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது செமிகண்டக்டர் தொழிலுக்கான டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுப் பொருட்களின் முன்னணி உற்பத்தியாளர். எங்கள் முக்கிய தயாரிப்பு சலுகைகளில் CVD டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு பாகங்கள், SiC படிக வளர்ச்சிக்கான சின்டெர்டு TaC பூச்சு பாகங்கள் அல்லது செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறை ஆகியவை அடங்கும். ISO9001 ஐப் பெற்றால், VeTek செமிகண்டக்டர் தரத்தில் நல்ல கட்டுப்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டர், டான்டலம் கார்பைடு பூச்சுத் தொழிலில் புதுமைப்பித்தனாக ஆவதற்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்டுள்ளது, தொடர்ந்து ஆராய்ச்சி மற்றும் மறுசெயல் தொழில்நுட்பங்களை மேம்படுத்துகிறது.
முக்கிய தயாரிப்புகள் ஆகும்டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு டிஃபெக்டர் ரிங், TaC பூசப்பட்ட டைவர்ஷன் ரிங், TaC பூசப்பட்ட அரை நிலவு பாகங்கள், டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட கிரக சுழற்சி வட்டு (Aixtron G10) , TaC பூசப்பட்ட க்ரூசிபிள்; TaC பூசப்பட்ட மோதிரங்கள்; TaC பூசப்பட்ட நுண்துளை கிராஃபைட்; டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு கிராஃபைட் சஸ்செப்டர்; TaC பூசப்பட்ட வழிகாட்டி வளையம்; TaC டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட தட்டு; TaC பூசப்பட்ட வேஃபர் சஸ்பெப்டர்; TaC பூச்சு வளையம்; TaC பூச்சு கிராஃபைட் கவர்; TaC பூசப்பட்ட துண்டுமுதலியன, தூய்மை 5ppm க்கும் குறைவாக உள்ளது, வாடிக்கையாளர் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய முடியும்.
TaC பூச்சு கிராஃபைட் ஒரு தனியுரிம இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) செயல்முறை மூலம் உயர்-தூய்மை கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பை டான்டலம் கார்பைட்டின் நுண்ணிய அடுக்குடன் பூசுவதன் மூலம் உருவாக்கப்படுகிறது. இதன் நன்மை கீழே உள்ள படத்தில் காட்டப்பட்டுள்ளது:
டான்டலம் கார்பைடு (TaC) பூச்சு 3880 டிகிரி செல்சியஸ் வரை அதிக உருகுநிலை, சிறந்த இயந்திர வலிமை, கடினத்தன்மை மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிகளுக்கு எதிர்ப்பு ஆகியவற்றின் காரணமாக கவனத்தை ஈர்த்தது, இது அதிக வெப்பநிலை தேவைகளுடன் கூடிய செமிகண்டக்டர் எபிடாக்ஸி செயல்முறைகளுக்கு கவர்ச்சிகரமான மாற்றாக அமைகிறது. Aixtron MOCVD அமைப்பு மற்றும் LPE SiC எபிடாக்ஸி செயல்முறை போன்றவை. இது PVT முறை SiC படிக வளர்ச்சி செயல்முறையிலும் பரந்த பயன்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது.
●வெப்பநிலை நிலைத்தன்மை
●அல்ட்ரா உயர் தூய்மை
●H2, NH3, SiH4,Siக்கு எதிர்ப்பு
●வெப்ப பங்குக்கு எதிர்ப்பு
●கிராஃபைட்டுடன் வலுவான ஒட்டுதல்
●முறையான பூச்சு கவரேஜ்
● 750 மிமீ விட்டம் வரை அளவு (சீனாவில் உள்ள ஒரே உற்பத்தியாளர் இந்த அளவை அடைகிறார்)
● இண்டக்டிவ் ஹீட்டிங் சசெப்டர்
● எதிர்ப்பு வெப்பமூட்டும் உறுப்பு
● வெப்ப கவசம்
TaC பூச்சுகளின் இயற்பியல் பண்புகள் | |
அடர்த்தி | 14.3 (g/cm³) |
குறிப்பிட்ட உமிழ்வு | 0.3 |
வெப்ப விரிவாக்க குணகம் | 6.3 10-6/கே |
கடினத்தன்மை (HK) | 2000 எச்.கே |
எதிர்ப்பு | 1×10-5ஓம்* செ.மீ |
வெப்ப நிலைத்தன்மை | <2500℃ |
கிராஃபைட் அளவு மாறுகிறது | -10~-20um |
பூச்சு தடிமன் | ≥20um வழக்கமான மதிப்பு (35um±10um) |
உறுப்பு | அணு சதவீதம் | |||
Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | சராசரி | |
சி கே | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
எம் | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட ரிங் தயாரிப்புகளின் தொழில்முறை கண்டுபிடிப்பாளர் மற்றும் தலைவராக, VeTek குறைக்கடத்தி டான்டலம் கார்பைடு பூசப்பட்ட மோதிரம் அதன் சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உடைகள் எதிர்ப்பு மற்றும் சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன் ஆகியவற்றுடன் SiC படிக வளர்ச்சியில் ஈடுசெய்ய முடியாத பங்கை வகிக்கிறது. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் போரஸ் டான்டலம் கார்பைடு தயாரிப்புகளின் தலைவர். நுண்துளை டான்டலம் கார்பைடு பொதுவாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) முறையால் தயாரிக்கப்படுகிறது, அதன் துளை அளவு மற்றும் விநியோகத்தின் துல்லியமான கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கிறது, மேலும் இது அதிக வெப்பநிலை தீவிர சூழல்களுக்கு அர்ப்பணிக்கப்பட்ட ஒரு பொருள் கருவியாகும். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு ரிங் தயாரிப்புகளின் மேம்பட்ட உற்பத்தியாளர் மற்றும் தயாரிப்பாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு ரிங் மிக அதிக கடினத்தன்மை, உடைகள் எதிர்ப்பு, அதிக வெப்பநிலை எதிர்ப்பு மற்றும் இரசாயன நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. குறிப்பாக CVD, PVD, அயன் பொருத்துதல் செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை மற்றும் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் போக்குவரத்து ஆகியவற்றில், குறைக்கடத்தி செயலாக்கம் மற்றும் உற்பத்திக்கு இது ஒரு தவிர்க்க முடியாத தயாரிப்பு ஆகும். உங்களின் மேலான ஆலோசனைக்காக காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் ஒரு தொழில்முறை டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு தயாரிப்பு உற்பத்தியாளர் மற்றும் தொழிற்சாலையாக, VeTek செமிகண்டக்டர் டான்டலம் கார்பைடு பூச்சு ஆதரவு பொதுவாக கட்டமைப்பு கூறுகளின் மேற்பரப்பு பூச்சு அல்லது குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் ஆதரவு கூறுகளுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறைகளில் முக்கிய உபகரண கூறுகளின் மேற்பரப்பு பாதுகாப்பு. CVD மற்றும் PVD. உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் ஒரு தொழில்முறை உற்பத்தியாளர் மற்றும் சீனாவில் டான்டலம் கார்பைடு கையேடு ரிங் தயாரிப்புகளின் தலைவர். எங்களின் டான்டலம் கார்பைடு (TaC) கைடு ரிங் என்பது டான்டலம் கார்பைடால் செய்யப்பட்ட உயர்-செயல்திறன் கொண்ட வளையக் கூறு ஆகும், இது பொதுவாக குறைக்கடத்தி செயலாக்க உபகரணங்களில் பயன்படுத்தப்படுகிறது, குறிப்பாக உயர் வெப்பநிலை மற்றும் CVD, PVD, பொறித்தல் மற்றும் பரவல் போன்ற அதிக அரிக்கும் சூழல்களில். VeTek செமிகண்டக்டர் செமிகண்டக்டர் தொழில்துறைக்கு மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் தயாரிப்பு தீர்வுகளை வழங்க உறுதிபூண்டுள்ளது, மேலும் உங்கள் மேலதிக விசாரணைகளை வரவேற்கிறது.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் TaC Coating Rotation Susceptor தயாரிப்புகளின் தொழில்முறை உற்பத்தியாளர், கண்டுபிடிப்பாளர் மற்றும் தலைவர். VeTek செமிகண்டக்டர் TaC பூச்சு சுழற்சி சஸ்செப்டர் பொதுவாக இரசாயன நீராவி படிவு (CVD) மற்றும் மூலக்கூறு பீம் எபிடாக்ஸி (MBE) உபகரணங்களில் சீரான பொருள் படிவு மற்றும் திறமையான வினையை உறுதி செய்வதற்காக செதில்களை ஆதரிக்கவும் சுழற்றவும். குறைக்கடத்தி செயலாக்கத்தில் இது ஒரு முக்கிய அங்கமாகும். உங்கள் மேலான ஆலோசனையை வரவேற்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு