VeTek செமிகண்டக்டர் தீவிர தூய சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகளை தயாரிப்பதில் நிபுணத்துவம் பெற்றது, இந்த பூச்சுகள் சுத்திகரிக்கப்பட்ட கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் மற்றும் பயனற்ற உலோகக் கூறுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வகையில் வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
எங்கள் உயர் தூய்மை பூச்சுகள் முதன்மையாக குறைக்கடத்தி மற்றும் எலக்ட்ரானிக்ஸ் தொழில்களில் பயன்படுத்துவதை இலக்காகக் கொண்டுள்ளன. அவை செதில் கேரியர்கள், சஸ்செப்டர்கள் மற்றும் வெப்பமூட்டும் கூறுகளுக்கான பாதுகாப்பு அடுக்காகச் செயல்படுகின்றன, MOCVD மற்றும் EPI போன்ற செயல்முறைகளில் எதிர்கொள்ளும் அரிக்கும் மற்றும் எதிர்வினை சூழல்களிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கின்றன. இந்த செயல்முறைகள் செதில் செயலாக்கம் மற்றும் சாதன உற்பத்திக்கு ஒருங்கிணைந்தவை. கூடுதலாக, எங்கள் பூச்சுகள் வெற்றிட உலைகள் மற்றும் அதிக வெற்றிடம், எதிர்வினை மற்றும் ஆக்ஸிஜன் சூழல்களை எதிர்கொள்ளும் மாதிரி வெப்பமாக்கல் ஆகியவற்றில் பயன்படுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.
VeTek செமிகண்டக்டரில், எங்களின் மேம்பட்ட இயந்திரக் கடைத் திறன்களுடன் விரிவான தீர்வை நாங்கள் வழங்குகிறோம். இது கிராஃபைட், மட்பாண்டங்கள் அல்லது பயனற்ற உலோகங்களைப் பயன்படுத்தி அடிப்படைக் கூறுகளைத் தயாரிப்பதற்கும், SiC அல்லது TaC பீங்கான் பூச்சுகளை வீட்டிலேயே பயன்படுத்துவதற்கும் உதவுகிறது. வாடிக்கையாளர் வழங்கிய உதிரிபாகங்களுக்கான பூச்சு சேவைகளையும் நாங்கள் வழங்குகிறோம், பல்வேறு தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதற்கான நெகிழ்வுத்தன்மையை உறுதிசெய்கிறோம்.
எங்கள் சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு தயாரிப்புகள் Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD அமைப்பு, RTP/RTA செயல்முறை, பொறித்தல் செயல்முறை, ICP/PSS பொறித்தல் செயல்முறை, நீலம் மற்றும் பச்சை LED, UV LED மற்றும் ஆழமான UV உள்ளிட்ட பல்வேறு LED வகைகளின் செயல்முறைகளில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. LED போன்றவை., இது LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys போன்றவற்றின் உபகரணங்களுக்கு ஏற்றது. TSI மற்றும் பல.
CVD SiC பூச்சுகளின் அடிப்படை இயற்பியல் பண்புகள் | |
சொத்து | வழக்கமான மதிப்பு |
படிக அமைப்பு | FCC β கட்ட பாலிகிரிஸ்டலின், முக்கியமாக (111) சார்ந்தது |
SiC பூச்சு அடர்த்தி | 3.21 g/cm³ |
SiC பூச்சு கடினத்தன்மை | 2500 விக்கர்ஸ் கடினத்தன்மை (500 கிராம் சுமை) |
தானிய அளவு | 2~10μm |
இரசாயன தூய்மை | 99.99995% |
வெப்ப திறன் | 640 ஜே·கிலோ-1·கே-1 |
பதங்கமாதல் வெப்பநிலை | 2700℃ |
நெகிழ்வு வலிமை | 415 MPa RT 4-புள்ளி |
யங்ஸ் மாடுலஸ் | 430 Gpa 4pt வளைவு, 1300℃ |
வெப்ப கடத்துத்திறன் | 300W·m-1·கே-1 |
வெப்ப விரிவாக்கம் (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
VeTek செமிகண்டக்டர் என்பது சீனாவில் LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட ஆதரவின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகும். LPE PE2061Sக்கான SiC பூசப்பட்ட ஆதரவு LPE சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் ரியாக்டருக்கு ஏற்றது. பீப்பாய் தளத்தின் அடிப்பகுதியாக, LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் சப்போர்ட் 1600 டிகிரி செல்சியஸ் அதிக வெப்பநிலையைத் தாங்கும், இதன் மூலம் மிக நீண்ட தயாரிப்பு ஆயுளை அடைகிறது மற்றும் வாடிக்கையாளர் செலவுகளைக் குறைக்கிறது. உங்கள் விசாரணை மற்றும் மேலும் தகவல்தொடர்புகளை எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் பல ஆண்டுகளாக SiC பூச்சு தயாரிப்புகளில் ஆழமாக ஈடுபட்டுள்ளது மற்றும் சீனாவில் LPE PE2061S க்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட்டின் முன்னணி உற்பத்தியாளர் மற்றும் சப்ளையர் ஆகியுள்ளது. நாங்கள் வழங்கும் LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் டாப் பிளேட் LPE சிலிக்கான் எபிடாக்சியல் ரியாக்டர்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது மற்றும் பீப்பாய் தளத்துடன் மேலே அமைந்துள்ளது. LPE PE2061Sக்கான இந்த SiC கோடட் டாப் பிளேட் உயர் தூய்மை, சிறந்த வெப்ப நிலைத்தன்மை மற்றும் சீரான தன்மை போன்ற சிறந்த பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது, இது உயர்தர எபிடாக்சியல் அடுக்குகளை வளர்க்க உதவுகிறது. உங்களுக்குத் தேவையான தயாரிப்பு எதுவாக இருந்தாலும், உங்கள் விசாரணைக்காக நாங்கள் காத்திருக்கிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசீனாவில் உள்ள முன்னணி வேஃபர் சசெப்டர் உற்பத்தி ஆலைகளில் ஒன்றாக, VeTek செமிகண்டக்டர், வேஃபர் சஸ்செப்டர் தயாரிப்புகளில் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றத்தை அடைந்துள்ளது மற்றும் பல எபிடாக்சியல் வேஃபர் உற்பத்தியாளர்களுக்கு முதல் தேர்வாக மாறியுள்ளது. VeTek செமிகண்டக்டரால் வழங்கப்பட்ட LPE PE2061Sக்கான SiC கோடட் பேரல் சஸ்செப்டர் LPE PE2061S 4'' செதில்களுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது. சஸ்செப்டரில் நீடித்த சிலிக்கான் கார்பைடு பூச்சு உள்ளது, இது LPE (திரவ கட்ட எபிடாக்சி) செயல்பாட்டின் போது செயல்திறன் மற்றும் ஆயுள் ஆகியவற்றை மேம்படுத்துகிறது. உங்கள் விசாரணையை வரவேற்கிறோம், உங்கள் நீண்ட கால கூட்டாளியாக ஆவதற்கு நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசாலிட் SiC கேஸ் ஷவர் ஹெட் CVD செயல்பாட்டில் வாயுவை சீரானதாக மாற்றுவதில் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, இதன் மூலம் அடி மூலக்கூறின் சீரான வெப்பத்தை உறுதி செய்கிறது. VeTek செமிகண்டக்டர் பல ஆண்டுகளாக திட SiC சாதனங்கள் துறையில் ஆழமாக ஈடுபட்டுள்ளது மற்றும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு தனிப்பயனாக்கப்பட்ட Solid SiC கேஸ் ஷவர் ஹெட்களை வழங்க முடிகிறது. உங்கள் தேவைகள் எதுவாக இருந்தாலும், உங்கள் விசாரணையை நாங்கள் எதிர்நோக்குகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புVeTek செமிகண்டக்டர் எப்போதும் மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி பொருட்களின் ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாடு மற்றும் உற்பத்திக்கு உறுதிபூண்டுள்ளது. இன்று, VeTek செமிகண்டக்டர் திடமான SiC விளிம்பு வளைய தயாரிப்புகளில் பெரும் முன்னேற்றம் அடைந்துள்ளது மற்றும் வாடிக்கையாளர்களுக்கு மிகவும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட திட SiC விளிம்பு வளையங்களை வழங்க முடிகிறது. திடமான SiC விளிம்பு வளையங்கள், மின்னியல் சக் உடன் பயன்படுத்தப்படும் போது, சீரான மற்றும் நம்பகமான பொறித்தல் முடிவுகளை உறுதி செய்யும் போது, சிறந்த பொறித்தல் சீரான தன்மை மற்றும் துல்லியமான செதில் பொருத்துதல் ஆகியவற்றை வழங்குகிறது. உங்கள் விசாரணையை எதிர்நோக்கி, ஒருவருக்கொருவர் நீண்ட கால பங்காளிகளாக மாறுவோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்புசாலிட் SiC எட்ச்சிங் ஃபோகசிங் ரிங் என்பது செதில் பொறித்தல் செயல்முறையின் முக்கிய கூறுகளில் ஒன்றாகும், இது செதில்களை சரிசெய்வதிலும், பிளாஸ்மாவை மையப்படுத்துவதிலும் மற்றும் செதில் செதுக்குதல் சீரான தன்மையை மேம்படுத்துவதிலும் பங்கு வகிக்கிறது. சீனாவில் முன்னணி SiC ஃபோகசிங் ரிங் தயாரிப்பாளராக, VeTek செமிகண்டக்டர் மேம்பட்ட தொழில்நுட்பம் மற்றும் முதிர்ந்த செயல்முறையைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப இறுதி வாடிக்கையாளர்களின் தேவைகளை முழுமையாக பூர்த்தி செய்யும் Solid SiC Etching Focusing Ring ஐ உற்பத்தி செய்கிறது. உங்களின் விசாரணையை எதிர்நோக்குகிறோம் மற்றும் ஒருவருக்கொருவர் நீண்ட கால பங்காளிகளாக மாறுகிறோம்.
மேலும் படிக்கவிசாரணையை அனுப்பு